| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-27页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 金属铈研究概况 | 第9-11页 |
| 1.3 单点金刚石超精密切削技术 | 第11-21页 |
| 1.4 残余应力 | 第21-26页 |
| 1.5 本研究的目的及主要内容 | 第26-27页 |
| 第二章 金属铈单点金刚石切削的分子动力学模拟 | 第27-36页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 建模与仿真 | 第27-29页 |
| 2.3 超精密切削表面残余应力模拟计算 | 第29-35页 |
| 2.3.1 计算原理 | 第29-30页 |
| 2.3.2 金属铈切削过程的塑性变形与残余应力模拟 | 第30-31页 |
| 2.3.3 加工不同铈晶面时的残余应力模拟 | 第31-33页 |
| 2.3.4 不同切深和切削速度时金属铈表面残余应力模拟 | 第33-35页 |
| 2.4 小结 | 第35-36页 |
| 第三章 金属铈单点金刚石切削实验 | 第36-57页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 样品制备及保护 | 第36-41页 |
| 3.3 超精密切削实验 | 第41-44页 |
| 3.4 检测分析实验 | 第44-47页 |
| 3.4.1 切削表面轮廓的白光干涉仪表征 | 第44-45页 |
| 3.4.2 切削表面物相的X射线衍射表征 | 第45页 |
| 3.4.3 残余应力影响深度的纳米压痕表征 | 第45-46页 |
| 3.4.4 残余应力检测 | 第46-47页 |
| 3.5 实验结果及讨论 | 第47-53页 |
| 3.5.1 金属铈单点金刚石超精密切削表面质量分析 | 第47-49页 |
| 3.5.2 切削参数对残余应力的影响 | 第49-53页 |
| 3.6 低残余应力切削参数的优化 | 第53-56页 |
| 3.7 小结 | 第56-57页 |
| 第四章 结论及展望 | 第57-59页 |
| 4.1 主要结论 | 第57-58页 |
| 4.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 附录 | 第66页 |
