高结合力氧化锆涂层的制备与连接工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第8-17页 |
| 1.2.1 高温活性钎料的研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.2 氧化锆与金属活性连接的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.2.3 氧化锆热障涂层的研究进展 | 第13-17页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 试验材料及设备 | 第19-27页 |
| 2.1 试验材料 | 第19-21页 |
| 2.1.1 蒸镀材料 | 第19-20页 |
| 2.1.2 基板材料 | 第20-21页 |
| 2.2 试验设备 | 第21-23页 |
| 2.2.1 蒸镀设备 | 第21-23页 |
| 2.2.2 连接设备 | 第23页 |
| 2.3 试验方法 | 第23-24页 |
| 2.3.1 试验方案 | 第23-24页 |
| 2.3.2 试验流程 | 第24页 |
| 2.4 性能测试 | 第24-26页 |
| 2.4.1 连接层靶材的冷压成型 | 第24-25页 |
| 2.4.2 膜层成分分析 | 第25页 |
| 2.4.3 膜基结合力测试 | 第25页 |
| 2.4.4 光学显微镜观察 | 第25页 |
| 2.4.5 扫描电镜分析(SEM) | 第25-26页 |
| 2.4.6 X 射线衍射分析(XRD) | 第26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 复合膜层的蒸镀 | 第27-39页 |
| 3.1 连接层的制备 | 第27-33页 |
| 3.1.1 靶材的制备 | 第27-28页 |
| 3.1.2 连接层的蒸镀 | 第28-33页 |
| 3.2 陶瓷层的制备 | 第33-36页 |
| 3.2.1 陶瓷层蒸镀工艺的确定 | 第33-34页 |
| 3.2.2 陶瓷层成分的 SEM 分析 | 第34-36页 |
| 3.2.3 陶瓷层的 XRD 分析 | 第36页 |
| 3.3 复合涂层的制备 | 第36-38页 |
| 3.3.1 复合涂层的蒸镀 | 第36-37页 |
| 3.3.2 复合膜层成分的 SEM 分析 | 第37页 |
| 3.3.3 复合膜层的 XRD 分析 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 复合膜层的连接 | 第39-48页 |
| 4.1 复合膜层的连接工艺 | 第39页 |
| 4.2 复合膜层加热前后的对比 | 第39-46页 |
| 4.2.1 加热前后复合膜层表面形貌变化探究 | 第39-42页 |
| 4.2.2 加热前后复合膜层截面数据对比 | 第42-46页 |
| 4.3 复合膜层连接前后的 XRD 测试 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 复合膜层的性能测试 | 第48-57页 |
| 5.1 膜基结合力的测试手段 | 第48-49页 |
| 5.2 膜层加热前的测试结果及分析 | 第49-51页 |
| 5.2.1 热处理前测试结果 | 第49-51页 |
| 5.2.2 加热前测试结果分析 | 第51页 |
| 5.3 膜层扩散连接后的测试结果及分析 | 第51-56页 |
| 5.3.1 加热温度为 1200°C 的测试结果 | 第52-53页 |
| 5.3.2 加热温度 1300°C 的测试结果 | 第53-55页 |
| 5.3.3 加热后的测试结果分析 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
