数字磁传感器芯片设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| 1.1 国内外发展现状 | 第9-10页 |
| 1.2 发展趋势 | 第10页 |
| 1.3 研究的目和意义 | 第10-11页 |
| 1.4 论文的结构和主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 数字磁传感器结构及原理 | 第12-18页 |
| 2.1 数字磁传感器原理图 | 第12页 |
| 2.2 GMR传感器原理 | 第12-14页 |
| 2.2.1 GMR芯片的结构及工作原理 | 第12-14页 |
| 2.3 GMR芯片掩膜设计 | 第14-18页 |
| 2.3.1 1700 reticle | 第14-17页 |
| 2.3.2 MA6 mask | 第17-18页 |
| 第三章 电路设计 | 第18-32页 |
| 3.1 信号处理电路设计 | 第18-19页 |
| 3.2 稳压模块设计 | 第19-26页 |
| 3.2.1 预稳压电路 | 第20-21页 |
| 3.2.2 带隙基准 | 第21-23页 |
| 3.2.3 LDO电路 | 第23-26页 |
| 3.3 判断模块设计 | 第26-30页 |
| 3.4 输出模块设计 | 第30-32页 |
| 第四章 传感器制备工艺 | 第32-34页 |
| 4.1 常用工艺技术 | 第32-33页 |
| 4.1.1 薄膜制作 | 第32页 |
| 4.1.2 刻印 | 第32页 |
| 4.1.3 刻蚀 | 第32-33页 |
| 4.1.4 掺杂 | 第33页 |
| 4.2 版图通用规则 | 第33-34页 |
| 第五章 版图设计 | 第34-46页 |
| 5.1 版图设计条件 | 第34-37页 |
| 5.1.1 工艺的熟悉 | 第34-35页 |
| 5.1.2 工具的选择和运用 | 第35-36页 |
| 5.1.3 工作的内容 | 第36-37页 |
| 5.2 芯片设计过程 | 第37-46页 |
| 5.2.1 版图设计流程 | 第37-38页 |
| 5.2.2 信号处理芯片版图设计过程 | 第38-43页 |
| 5.2.3 版图技术 | 第43-46页 |
| 5.2.3.1 Dummy | 第43-44页 |
| 5.2.3.2 匹配 | 第44页 |
| 5.2.3.3 降噪 | 第44-46页 |
| 第六章 芯片测试及分析 | 第46-56页 |
| 6.1 芯片概述 | 第46-47页 |
| 6.2 芯片测试 | 第47-56页 |
| 6.2.1 测试条件 | 第47页 |
| 6.2.2 测试方法 | 第47页 |
| 6.2.3 测试结果 | 第47-55页 |
| 6.2.4 测试分析 | 第55-56页 |
| 第七章 总结与展望 | 第56-57页 |
| 7.1 总结 | 第56页 |
| 7.2 展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 附录 | 第60页 |
