电阻阵列红外场景产生器的仿真设计与微细加工工艺研究
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-9页 |
第一章 引言 | 第9-22页 |
·红外场景产生技术 | 第9-10页 |
·电阻阵列红外场景产生器的工作原理 | 第10-13页 |
·红外辐射理论 | 第10-12页 |
·单元电路工作原理 | 第12-13页 |
·电阻阵列红外场景产生器的主要性能参数 | 第13-16页 |
·光谱特性 | 第13-14页 |
·温度参数 | 第14页 |
·动态性能 | 第14-15页 |
·空间参数 | 第15-16页 |
·电阻阵列红外场景产生器的发展现状 | 第16-21页 |
·本文的主要工作 | 第21-22页 |
第二章 单元结构设计与实验方法 | 第22-33页 |
·ANSYS 有限元分析与优化设计 | 第22-26页 |
·ANSYS 热分析简介 | 第22-24页 |
·APDL 参数化设计语言与ANSYS 优化设计 | 第24-26页 |
·薄膜的制备与图形化工艺 | 第26-28页 |
·直流磁控溅射 | 第26-27页 |
·光刻及薄膜剥离技术 | 第27-28页 |
·分析和测试方法 | 第28-33页 |
·扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
·薄膜方阻的测试 | 第29-30页 |
·薄膜厚度的测试 | 第30-31页 |
·等效黑体辐射温度的测试 | 第31-33页 |
第三章 薄膜结构电阻阵列单元的结构设计与热分析 | 第33-47页 |
·薄膜结构电阻阵列单元结构设计 | 第33-35页 |
·单元结构设计 | 第33-34页 |
·材料的选择 | 第34-35页 |
·薄膜结构电阻阵列单元的热学设计 | 第35-39页 |
·热传递机理 | 第35-37页 |
·单元结构的热学分析 | 第37-39页 |
·器件单元结构的ANSYS 仿真与优化设计 | 第39-46页 |
·单元仿真模型 | 第39-42页 |
·单元结构的ANSYS 优化设计 | 第42-45页 |
·单元动态性能的ANSYS 仿真 | 第45-46页 |
·本章小结 | 第46-47页 |
第四章 薄膜结构电阻阵列的制备与性能测试 | 第47-65页 |
·聚酰亚胺薄膜的制备及湿法腐蚀工艺的研究 | 第47-53页 |
·聚酰亚胺薄膜的制备 | 第47-51页 |
·聚酰亚胺薄膜的湿法腐蚀工艺 | 第51-53页 |
·薄膜结构电阻阵列红外场景产生器的制作 | 第53-60页 |
·微辐射电阻的设计与制作 | 第54-55页 |
·电极的制作 | 第55-58页 |
·2×16 薄膜结构电阻阵列的制作 | 第58-60页 |
·薄膜结构电阻阵列红外场景产生器的性能测试 | 第60-63页 |
·测试准备工作 | 第60-61页 |
·测试结果分析 | 第61-63页 |
·本章小结 | 第63-65页 |
第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
致谢 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-72页 |
攻硕期间取得的研究成果 | 第72-73页 |