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电阻阵列红外场景产生器的仿真设计与微细加工工艺研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 引言第9-22页
   ·红外场景产生技术第9-10页
   ·电阻阵列红外场景产生器的工作原理第10-13页
     ·红外辐射理论第10-12页
     ·单元电路工作原理第12-13页
   ·电阻阵列红外场景产生器的主要性能参数第13-16页
     ·光谱特性第13-14页
     ·温度参数第14页
     ·动态性能第14-15页
     ·空间参数第15-16页
   ·电阻阵列红外场景产生器的发展现状第16-21页
   ·本文的主要工作第21-22页
第二章 单元结构设计与实验方法第22-33页
   ·ANSYS 有限元分析与优化设计第22-26页
     ·ANSYS 热分析简介第22-24页
     ·APDL 参数化设计语言与ANSYS 优化设计第24-26页
   ·薄膜的制备与图形化工艺第26-28页
     ·直流磁控溅射第26-27页
     ·光刻及薄膜剥离技术第27-28页
   ·分析和测试方法第28-33页
     ·扫描电子显微镜第28-29页
     ·薄膜方阻的测试第29-30页
     ·薄膜厚度的测试第30-31页
     ·等效黑体辐射温度的测试第31-33页
第三章 薄膜结构电阻阵列单元的结构设计与热分析第33-47页
   ·薄膜结构电阻阵列单元结构设计第33-35页
     ·单元结构设计第33-34页
     ·材料的选择第34-35页
   ·薄膜结构电阻阵列单元的热学设计第35-39页
     ·热传递机理第35-37页
     ·单元结构的热学分析第37-39页
   ·器件单元结构的ANSYS 仿真与优化设计第39-46页
     ·单元仿真模型第39-42页
     ·单元结构的ANSYS 优化设计第42-45页
     ·单元动态性能的ANSYS 仿真第45-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 薄膜结构电阻阵列的制备与性能测试第47-65页
   ·聚酰亚胺薄膜的制备及湿法腐蚀工艺的研究第47-53页
     ·聚酰亚胺薄膜的制备第47-51页
     ·聚酰亚胺薄膜的湿法腐蚀工艺第51-53页
   ·薄膜结构电阻阵列红外场景产生器的制作第53-60页
     ·微辐射电阻的设计与制作第54-55页
     ·电极的制作第55-58页
     ·2×16 薄膜结构电阻阵列的制作第58-60页
   ·薄膜结构电阻阵列红外场景产生器的性能测试第60-63页
     ·测试准备工作第60-61页
     ·测试结果分析第61-63页
   ·本章小结第63-65页
第五章 结论与展望第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-72页
攻硕期间取得的研究成果第72-73页

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