摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-25页 |
1.1 金刚石材料的概述 | 第10-16页 |
1.1.1 金刚石晶体的结构及形态 | 第10-11页 |
1.1.2 金刚石薄膜的优异特性 | 第11-12页 |
1.1.3 金刚石薄膜的沉积方法 | 第12-16页 |
1.2 CVD 金刚石涂层技术的应用前景 | 第16-19页 |
1.2.1 CVD 金刚石涂层刀具 | 第16-18页 |
1.2.2 CVD 法生长金刚石单晶颗粒 | 第18-19页 |
1.2.3 CVD 金刚石涂层硬质合金拉拔模具 | 第19页 |
1.3 影响CVD 金刚石膜生长的工艺参数 | 第19-21页 |
1.4 热丝CVD 沉积金刚石薄膜衬底温度场的研究进展 | 第21-22页 |
1.5 本课题研究背景及意义 | 第22-24页 |
1.6 本文研究内容 | 第24-25页 |
第二章 热丝化学气相法沉积金刚石衬底温度场的数值分析 | 第25-35页 |
2.1 引言 | 第25页 |
2.2 传热学基本理论 | 第25-28页 |
2.2.1 黑体 | 第26页 |
2.2.2 灰体 | 第26页 |
2.2.3 角系数 | 第26-28页 |
2.3 数学建模 | 第28-31页 |
2.4 数值计算结果分析 | 第31-33页 |
2.5 数值法分析衬底温度场的局限性 | 第33页 |
2.6 本章小结 | 第33-35页 |
第三章 HFCVD 沉积金刚石涂层刀片的温度场仿真 | 第35-48页 |
3.1 引言 | 第35-36页 |
3.2 衬底温度场仿真的几何模型 | 第36-39页 |
3.3 HFCVD 沉积金刚石涂层刀片衬底温度场的仿真及结果分析 | 第39-46页 |
3.4 本章小结 | 第46-48页 |
第四章 HFCVD 沉积金刚石单晶颗粒的温度场仿真 | 第48-62页 |
4.1 引言 | 第48-49页 |
4.2 温度场仿真的几何模型 | 第49-50页 |
4.3 HFCVD 沉积金刚石单晶颗粒的温度场的仿真及结果分析 | 第50-61页 |
4.4 本章小结 | 第61-62页 |
第五章 HFCVD 沉积金刚石涂层拉拔模具的温度场仿真 | 第62-76页 |
5.1 引言 | 第62-63页 |
5.2 衬底温度场仿真的几何模型 | 第63-65页 |
5.3 金刚石涂层拉拔模具衬底温度场的仿真及结果分析 | 第65-75页 |
5.4 本章小结 | 第75-76页 |
第六章 HFCVD 合成金刚石的试验研究 | 第76-86页 |
6.1 引言 | 第76-77页 |
6.2 热丝CVD 法合成金刚石 | 第77-78页 |
6.3 HFCVD 法沉积金刚石涂层刀片的试验结果与分析 | 第78-81页 |
6.4 HFCVD 法合成金刚石单晶颗粒的试验结果与分析 | 第81-84页 |
6.5 本章小结 | 第84-86页 |
第七章 金刚石涂层拉拔模具的制备 | 第86-94页 |
7.1 引言 | 第86页 |
7.2 拉拔模具的孔型简介 | 第86-88页 |
7.3 金刚石涂层拉拔模具的制备 | 第88-89页 |
7.4 HFCVD 法沉积金刚石涂层拉拔模具的试验结果与分析 | 第89-92页 |
7.5 本章小结 | 第92-94页 |
第八章 结论 | 第94-97页 |
8.1 主要研究工作和结论 | 第94-95页 |
8.2 主要创新点 | 第95-96页 |
8.3 下一步研究工作的展望 | 第96-97页 |
参考文献 | 第97-100页 |
致谢 | 第100-101页 |
攻读学位期间公开发表的论文 | 第101页 |