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热丝化学气相法合成金刚石的温度场仿真及试验研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-25页
    1.1 金刚石材料的概述第10-16页
        1.1.1 金刚石晶体的结构及形态第10-11页
        1.1.2 金刚石薄膜的优异特性第11-12页
        1.1.3 金刚石薄膜的沉积方法第12-16页
    1.2 CVD 金刚石涂层技术的应用前景第16-19页
        1.2.1 CVD 金刚石涂层刀具第16-18页
        1.2.2 CVD 法生长金刚石单晶颗粒第18-19页
        1.2.3 CVD 金刚石涂层硬质合金拉拔模具第19页
    1.3 影响CVD 金刚石膜生长的工艺参数第19-21页
    1.4 热丝CVD 沉积金刚石薄膜衬底温度场的研究进展第21-22页
    1.5 本课题研究背景及意义第22-24页
    1.6 本文研究内容第24-25页
第二章 热丝化学气相法沉积金刚石衬底温度场的数值分析第25-35页
    2.1 引言第25页
    2.2 传热学基本理论第25-28页
        2.2.1 黑体第26页
        2.2.2 灰体第26页
        2.2.3 角系数第26-28页
    2.3 数学建模第28-31页
    2.4 数值计算结果分析第31-33页
    2.5 数值法分析衬底温度场的局限性第33页
    2.6 本章小结第33-35页
第三章 HFCVD 沉积金刚石涂层刀片的温度场仿真第35-48页
    3.1 引言第35-36页
    3.2 衬底温度场仿真的几何模型第36-39页
    3.3 HFCVD 沉积金刚石涂层刀片衬底温度场的仿真及结果分析第39-46页
    3.4 本章小结第46-48页
第四章 HFCVD 沉积金刚石单晶颗粒的温度场仿真第48-62页
    4.1 引言第48-49页
    4.2 温度场仿真的几何模型第49-50页
    4.3 HFCVD 沉积金刚石单晶颗粒的温度场的仿真及结果分析第50-61页
    4.4 本章小结第61-62页
第五章 HFCVD 沉积金刚石涂层拉拔模具的温度场仿真第62-76页
    5.1 引言第62-63页
    5.2 衬底温度场仿真的几何模型第63-65页
    5.3 金刚石涂层拉拔模具衬底温度场的仿真及结果分析第65-75页
    5.4 本章小结第75-76页
第六章 HFCVD 合成金刚石的试验研究第76-86页
    6.1 引言第76-77页
    6.2 热丝CVD 法合成金刚石第77-78页
    6.3 HFCVD 法沉积金刚石涂层刀片的试验结果与分析第78-81页
    6.4 HFCVD 法合成金刚石单晶颗粒的试验结果与分析第81-84页
    6.5 本章小结第84-86页
第七章 金刚石涂层拉拔模具的制备第86-94页
    7.1 引言第86页
    7.2 拉拔模具的孔型简介第86-88页
    7.3 金刚石涂层拉拔模具的制备第88-89页
    7.4 HFCVD 法沉积金刚石涂层拉拔模具的试验结果与分析第89-92页
    7.5 本章小结第92-94页
第八章 结论第94-97页
    8.1 主要研究工作和结论第94-95页
    8.2 主要创新点第95-96页
    8.3 下一步研究工作的展望第96-97页
参考文献第97-100页
致谢第100-101页
攻读学位期间公开发表的论文第101页

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