直线导轨多自由度几何误差同时测量中误差分析与补偿方法的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 问题的提出及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-21页 |
| 1.2.1 多自由度误差同时测量方法的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.2 误差串扰补偿方法的研究现状 | 第17-21页 |
| 1.3 本论文的研究目的与研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 本论文的研究目的 | 第21-22页 |
| 1.3.2 本论文的研究内容 | 第22-23页 |
| 2 直线导轨五自由度几何误差同时测量系统 | 第23-35页 |
| 2.1 各项几何误差的测量原理 | 第23-26页 |
| 2.1.1 直线度测量原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 二维角度测量原理 | 第24-25页 |
| 2.1.3 滚转角测量原理 | 第25-26页 |
| 2.2 五自由度几何误差同时测量系统设计 | 第26-28页 |
| 2.3 测量系统的构成 | 第28-34页 |
| 2.3.1 光路部分 | 第28-29页 |
| 2.3.2 光电探测器部分 | 第29-32页 |
| 2.3.3 电路部分 | 第32-33页 |
| 2.3.4 软件部分 | 第33-34页 |
| 2.4 小结 | 第34-35页 |
| 3 误差串扰分析及模型建立 | 第35-44页 |
| 3.1 偏摆角对水平直线度的串扰 | 第35-38页 |
| 3.1.1 理论分析 | 第35-37页 |
| 3.1.2 计算机仿真 | 第37-38页 |
| 3.2 俯仰角对竖直直线度的串扰 | 第38-39页 |
| 3.2.1 理论分析 | 第38页 |
| 3.2.2 计算机仿真 | 第38-39页 |
| 3.3 滚转角对二维直线度的串扰 | 第39-42页 |
| 3.3.1 理论分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 计算机仿真 | 第40-42页 |
| 3.4 滚转角真实值与滚转角测量值间的关系 | 第42-43页 |
| 3.4.1 理论分析 | 第42页 |
| 3.4.2 计算机仿真 | 第42-43页 |
| 3.5 小结 | 第43-44页 |
| 4 测量系统实验结果与分析 | 第44-57页 |
| 4.1 稳定性测试 | 第44-45页 |
| 4.2 系统标定 | 第45-47页 |
| 4.2.1 直线度标定 | 第45-46页 |
| 4.2.2 二维角度标定 | 第46-47页 |
| 4.3 误差串扰模型的定点验证实验 | 第47-51页 |
| 4.3.1 偏摆角对水平直线度的串扰验证 | 第47-48页 |
| 4.3.2 俯仰角对竖直直线度的串扰验证 | 第48-49页 |
| 4.3.3 滚转角对二维直线度的串扰验证 | 第49-50页 |
| 4.3.4 滚转角真实值与其测量值之间的关系 | 第50-51页 |
| 4.4 直线导轨测量与误差串扰补偿 | 第51-56页 |
| 4.4.1 二维角度测量 | 第51-52页 |
| 4.4.2 滚转角的测量与补偿 | 第52-55页 |
| 4.4.3 二维直线度的测量与补偿 | 第55-56页 |
| 4.5 小结 | 第56-57页 |
| 5 误差分析 | 第57-65页 |
| 5.1 随机误差 | 第57-59页 |
| 5.1.1 空气环境引起的误差 | 第57页 |
| 5.1.2 背景光引起的误差 | 第57-59页 |
| 5.2 系统误差 | 第59-64页 |
| 5.2.1 光束准直误差 | 第59页 |
| 5.2.2 光强对探测器分辨率的影响 | 第59-60页 |
| 5.2.3 半透半反镜的影响 | 第60-62页 |
| 5.2.4 制造误差 | 第62-64页 |
| 5.3 小结 | 第64-65页 |
| 6 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第69-71页 |
| 学位论文数据集 | 第71页 |
