| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 MEMS 概述 | 第8-10页 |
| 1.1.1 MEMS 简述 | 第8-9页 |
| 1.1.2 MEMS 发展 | 第9-10页 |
| 1.2 微执行器简介 | 第10-11页 |
| 1.3 与本课题相关的研究进展 | 第11-12页 |
| 1.4 本论文主要内容及创新点 | 第12-13页 |
| 第二章 Pull-in 现象 | 第13-16页 |
| 2.1 Pull-in 现象简述 | 第13-14页 |
| 2.2 Pull-in 参数 | 第14-16页 |
| 第三章 穿孔板式静电微执行器静态 Pull-in 现象 | 第16-33页 |
| 3.1 忽略边缘效应的穿孔板模型静态分析 | 第16-20页 |
| 3.1.1 力法求解 | 第16-19页 |
| 3.1.2 能量法求解 | 第19-20页 |
| 3.2 考虑边缘效应的穿孔板模型的静态分析 | 第20-25页 |
| 3.2.1 简化漏电容模型的静态 Pull-in 分析 | 第20-22页 |
| 3.2.2 详细漏电容模型的静态 Pull-in 分析 | 第22-25页 |
| 3.3 穿孔板尺寸对静态 Pull-in 参数的影响 | 第25-32页 |
| 3.3.1 ANSYS 静态仿真 | 第25-29页 |
| 3.3.2 穿孔比对 Pull-in 参数的影响 | 第29-31页 |
| 3.3.3 孔边长与穿孔板边长之比对 Pull-in 参数的影响 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 阶跃信号下穿孔板静电微执行器动态 Pull-in 分析 | 第33-54页 |
| 4.1 无阻尼阶跃信号下的动态 Pull-in 现象分析 | 第33-40页 |
| 4.1.1 忽略边缘效应模型的 Pull-in 分析 | 第35-38页 |
| 4.1.2 简化漏电容模型的 Pull-in 分析 | 第38-39页 |
| 4.1.3 详细漏电容模型的 Pull-in 分析 | 第39-40页 |
| 4.2 穿孔板尺寸对动态 Pull-in 参数的影响 | 第40-44页 |
| 4.2.1 穿孔比对 Pull-in 参数的影响 | 第41-42页 |
| 4.2.2 孔边长与穿孔板边长之比对 Pull-in 参数的影响 | 第42-44页 |
| 4.3 考虑阻尼阶跃信号下的动态 Pull-in 现象 | 第44-49页 |
| 4.4 阶跃信号下 ANSYS 动态仿真 | 第49-51页 |
| 4.5 阻尼对各种模型的 Pull-in 参数影响 | 第51-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 调制信号下穿孔板静电微执行器动态 Pull-in 分析 | 第54-62页 |
| 5.1 忽略边缘效应模型的 Pull-in 分析 | 第57-59页 |
| 5.2 简化漏电容模型的 Pull-in 分析 | 第59-60页 |
| 5.3 详细漏电容模型的 Pull-in 分析 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 工作总结 | 第62-63页 |
| 6.2 工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第67-68页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
