| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 引言 | 第12-13页 |
| 1 绪论 | 第13-38页 |
| 1．1 扫描探针显微镜的发展 | 第13-15页 |
| 1．2 原子力显微镜 | 第15-21页 |
| 1．2．1 AFM的物理机理 | 第15页 |
| 1．2．2 AFM的工作原理 | 第15-17页 |
| 1．2．3 AFM的主要优点 | 第17页 |
| 1．2．4 AFM的功能拓展 | 第17-20页 |
| 1．2．5 AFM的主要用途 | 第20-21页 |
| 1．3 光子扫描隧道显微镜(PSTM) | 第21-27页 |
| 1．3．1 分辨率极限与衍射极限 | 第21-23页 |
| 1．3．2 PSTM的物理机制 | 第23-24页 |
| 1．3．3 PSTM工作原理 | 第24-25页 |
| 1．3．4 PSTM的特点 | 第25页 |
| 1．3．5 PSTM的应用 | 第25-27页 |
| 1．4 扫描近场光学显微镜(SNOM) | 第27-31页 |
| 1．5 近场光学理论研究现状 | 第31-32页 |
| 本章小结 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 2 AF/PSSTM的理论基础与总体设计 | 第38-56页 |
| 2．1 AF/PSTM的理论基础 | 第38-49页 |
| 2．1．1 为什磨要求用隐失光成像 | 第38-41页 |
| 2．1．2 图像分解和消假像原理 | 第41-44页 |
| 2．1．3 四介质PSTM平面模型数值模拟 | 第44-45页 |
| 2．1．4 四介质PSTM平面模型光信号特征 | 第45-49页 |
| 2．2 AF/PSTM系统原理性设计要求 | 第49-50页 |
| 2．3 AF/PSTM系统设计 | 第50-54页 |
| 2．3．1 AF/PSTM主机 | 第51-52页 |
| 2．3．2 主机控制DSP卡 | 第52页 |
| 2．3．3 AF/PSTM监控计算机 | 第52页 |
| 2．3．4 AF/PSTM扫描头框图 | 第52-53页 |
| 2．3．5 光信号处理模块 | 第53-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
| 3 AF/PSTM样机的研制 | 第56-77页 |
| 3．1 AF/PSTM样机研制先要解决的问题 | 第56-61页 |
| 3．1．1 双功能AF/PSTM光纤共振策动方尖案 | 第56-57页 |
| 3．1．2 光纤尖等振幅检测与反馈方法 | 第57页 |
| 3．1．3 光纤尖振幅与尖至样品距离关系(Z- A)特性 | 第57-58页 |
| 3．1．4 自动检测AF/PSTM光纤尖振幅方法 | 第58-59页 |
| 3．1．5 光学信号采集 | 第59-61页 |
| 3．2 主从式结构设计 | 第61-63页 |
| 3．3 主机控制箱设计 | 第63-69页 |
| 3．3．1 主机设计指标 | 第63-64页 |
| 3．3．2 主机硬件框图 | 第64-65页 |
| 3．3．3 主机构成部件 | 第65-67页 |
| 3．3．4 控制箱 | 第67-69页 |
| 3．4 光信号图像分解处理 | 第69-73页 |
| 3．4．1 光信号处理硬件设计 | 第69-71页 |
| 3．4．2 光图像解算软件设计 | 第71-73页 |
| 3．5 相位信号处理 | 第73-75页 |
| 本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 4 AF/PSTM监控软件的设计 | 第77-92页 |
| 4．1 软件系统的设计思想 | 第77-80页 |
| 4．1．1 功能实现分层 | 第77-78页 |
| 4．1．2 模块化划分 | 第78页 |
| 4．1．3 系统参数的硬件定制原则 | 第78-79页 |
| 4．1．4 数据文件格式的兼容性 | 第79-80页 |
| 4．2 软件系统的结构 | 第80-86页 |
| 4．2．1 主控制模块 | 第81-82页 |
| 4．2．2 从系统监控模块 | 第82-83页 |
| 4．2．3 图像显示模块 | 第83页 |
| 4．2．4 参数管理模块 | 第83-85页 |
| 4．2．5 辅助功能模块 | 第85-86页 |
| 4．3 轻敲控制模块设计 | 第86-90页 |
| 4．3．1 共振频率选定的意义 | 第86页 |
| 4．3．2 搜峰系统的原理 | 第86-87页 |
| 4．3．3 搜峰结构框图 | 第87-88页 |
| 4．3．4 软件流程 | 第88-90页 |
| 本章小结 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 5 DSP卡设计 | 第92-101页 |
| 5．1 DSP卡的硬件设计 | 第92-96页 |
| 5．2 DSP软件设计 | 第96-98页 |
| 5．3 DSP消息设计 | 第98页 |
| 本章小结 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-101页 |
| 6 结论 | 第101-115页 |
| 6．1 总结 | 第101-103页 |
| 6．2 AF/PSTM样机的主要创新 | 第103-105页 |
| 6．3 考机结果 | 第105-109页 |
| 6．4 FDTD数值模拟验证 | 第109-110页 |
| 6．5 AF/PSTM产业化前景 | 第110-111页 |
| 6．6 改进建议 | 第111-112页 |
| 本章小结 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-115页 |
| 创新点摘要 | 第115-116页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文的情况 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 附录A: DSP卡消息类型列表 | 第118-130页 |
| 附录B:“原子力与光子扫描隧道组合显微镜研制”科学技术成果鉴定证书(全文) | 第130-140页 |
| 附录C: 获奖证书 | 第140-141页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第141页 |
