干涉型铌酸锂基集成光开关研究
| 第一章 绪论 | 第6-28页 |
| 1.1 引言 | 第6-7页 |
| 1.2 集成光学发展概述 | 第7-12页 |
| 1.2.1 集成光学材料 | 第8-9页 |
| 1.2.2 集成光学器件 | 第9-12页 |
| 1.3 光开关概述 | 第12-19页 |
| 1.3.1 光开关的应用 | 第12-13页 |
| 1.3.2 光开关分类和介绍 | 第13-19页 |
| 1.4 铌酸锂电光调制器件概述 | 第19-23页 |
| 1.4.1 铌酸锂波导技术 | 第19-20页 |
| 1.4.2 铌酸锂与其他电光器件比较 | 第20页 |
| 1.4.3 铌酸锂光开关的结构 | 第20-22页 |
| 1.4.4 调制电极结构介绍 | 第22-23页 |
| 参考文献: | 第23-28页 |
| 第二章 铌酸锂电光器件基本原理 | 第28-39页 |
| 2.1 铌酸锂衬底 | 第28-29页 |
| 2.2 铌酸锂电光调制原理 | 第29-32页 |
| 2.3 铌酸锂Ti扩散波导制作技术 | 第32-33页 |
| 2.3.1 Ti扩散波导原理 | 第32-33页 |
| 2.4 退火质子交换波导 | 第33-35页 |
| 2.4.1 APE波导的晶相 | 第33-35页 |
| 2.5 铌酸锂的DC漂移特性 | 第35-36页 |
| 2.5.1 隔离层漂移 | 第35页 |
| 2.5.2 光致漂移 | 第35-36页 |
| 2.6 器件的偏振无关性 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-39页 |
| 第三章 干涉型铌酸锂光开关设计 | 第39-57页 |
| 3.1 调制结构设计 | 第39-40页 |
| 3.2 单模波导的设计 | 第40-43页 |
| 3.3 器件结构设计 | 第43-50页 |
| 3.3.1 干涉驱动的非对称X结光开关 | 第44-46页 |
| 3.3.2 2×2平衡桥路式光开关 | 第46-48页 |
| 3.3.3 1×2平衡桥路式光开关 | 第48-49页 |
| 3.3.4 结论 | 第49-50页 |
| 3.4 分叉设计 | 第50-55页 |
| 3.4.1 S型弯曲Y分叉 | 第51-52页 |
| 3.4.2 波前加速器设计及其改进 | 第52-54页 |
| 3.4.3 场分布修正设计 | 第54-55页 |
| 3.5 器件设计总结 | 第55页 |
| 参考文献: | 第55-57页 |
| 第四章 铌酸锂光开关工艺及测试 | 第57-73页 |
| 4.1 器件制作工艺流程 | 第57-61页 |
| 4.1.1 基片的清洗 | 第57-58页 |
| 4.1.2 Ti扩散波导的制作 | 第58-60页 |
| 4.1.3 电极的制作 | 第60-61页 |
| 4.1.4 端面抛光 | 第61页 |
| 4.2 实验结果和器件测试 | 第61-72页 |
| 4.2.1 第一阶段实验及结果 | 第61-70页 |
| 4.2.2 第二阶段实验及结果 | 第70-72页 |
| 参考文献: | 第72-73页 |
| 第五章 总结和展望 | 第73-74页 |
| 5.1 总结 | 第73页 |
| 5.2 展望 | 第73-74页 |
| 附录: 博士期间发表论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
