| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景与选题来源 | 第11-13页 |
| 1.1.1 研究背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.1.2 选题来源 | 第13页 |
| 1.2 压电陶瓷微定位平台的组成 | 第13-15页 |
| 1.2.1 压电陶瓷执行器 | 第13-14页 |
| 1.2.2 柔性铰链传动机构 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3.1 迟滞非线性建模方法 | 第15-20页 |
| 1.3.2 迟滞补偿方法 | 第20-21页 |
| 1.4 本文的研究内容安排 | 第21-23页 |
| 第2章 压电陶瓷微定位平台模型的建立 | 第23-39页 |
| 2.1 KP静态迟滞模型 | 第23-25页 |
| 2.2 布谷鸟搜索算法辨识模型参数 | 第25-30页 |
| 2.2.1 布谷鸟搜索算法 | 第25-28页 |
| 2.2.2 模型验证 | 第28-30页 |
| 2.3 粒子群和布谷鸟混合优化算法辨识模型参数 | 第30-34页 |
| 2.3.1 粒子群优化算法 | 第30-31页 |
| 2.3.2 粒子群和布谷鸟混合优化算法 | 第31-32页 |
| 2.3.3 模型验证 | 第32-34页 |
| 2.4 KP率相关迟滞模型 | 第34-38页 |
| 2.4.1 KP率相关模型 | 第34-35页 |
| 2.4.2 模型验证 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 基于KP逆模型的前馈补偿与复合控制 | 第39-51页 |
| 3.1 逆模型的建立 | 第39-41页 |
| 3.2 实验平台介绍 | 第41-43页 |
| 3.3 逆模型前馈补偿控制 | 第43-46页 |
| 3.3.1 逆模型前馈控制 | 第43页 |
| 3.3.2 实验验证及结果分析 | 第43-46页 |
| 3.4 PID和逆模型相结合的复合控制 | 第46-50页 |
| 3.4.1 PID和逆模型相结合的复合控制 | 第46-47页 |
| 3.4.2 实验验证及结果分析 | 第47-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 无需逆模型的非线性控制器 | 第51-63页 |
| 4.1 基于快速Terminal滑模控制的微定位平台系统设计 | 第51-58页 |
| 4.1.1 快速Terminal滑模控制方法介绍 | 第51-54页 |
| 4.1.2 系统描述 | 第54-56页 |
| 4.1.3 快速Terminal滑模控制器的设计 | 第56-58页 |
| 4.2 实验验证及结果分析 | 第58-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 研究展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 作者简介及在学期间科研成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |