氧化钒红外探测器的仿真模拟与器件制作
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究近况 | 第10-14页 |
| 1.3 本课题研究意义及主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 理论分析 | 第16-25页 |
| 2.1 红外热辐射原理 | 第16-17页 |
| 2.2 金属表面电磁理论 | 第17-19页 |
| 2.3 电阻率的尺度效应 | 第19-21页 |
| 2.4 噪声源 | 第21-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 数值计算与仿真 | 第25-40页 |
| 3.1 光学性能 | 第25-36页 |
| 3.2 热学性能 | 第36-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 4 工艺设计与器件制备 | 第40-48页 |
| 4.1 器件设计 | 第40-41页 |
| 4.2 工艺设计 | 第41页 |
| 4.3 掩膜板布局 | 第41-42页 |
| 4.4 工艺制备 | 第42-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 5 测试与结果分析 | 第48-58页 |
| 5.1 FTIR红外光谱测试 | 第48-49页 |
| 5.2 黑体响应率测试 | 第49-53页 |
| 5.3 噪声测试 | 第53-54页 |
| 5.4 比探测率测试 | 第54页 |
| 5.5 响应时间测试 | 第54-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
