摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
第1章 绪论 | 第11-25页 |
1.1 引言 | 第11-12页 |
1.2 气敏传感器的简介 | 第12-14页 |
1.2.1 气敏传感器的发展 | 第12页 |
1.2.2 气敏传感器的分类 | 第12-14页 |
1.3 半导体金属氧化物气敏传感器 | 第14-18页 |
1.3.1 半导体金属氧化物气敏传感器结构 | 第14-16页 |
1.3.2 半导体金属氧化物气敏传感器气敏机理 | 第16-18页 |
1.3.3 半导体金属氧化物气敏传感器存在的问题 | 第18页 |
1.4 Zn O基气敏传感器的研究进展 | 第18-19页 |
1.5 提高ZnO纳米材料气敏性能的途径 | 第19-23页 |
1.5.1 ZnO的形貌结构控制 | 第19-20页 |
1.5.2 ZnO的掺杂复合改性 | 第20-23页 |
1.6 本论文的研究目的和主要内容 | 第23-25页 |
第2章 Rh掺杂Zn O纳米粉体的制备及其气敏性能 | 第25-45页 |
2.1 引言 | 第25页 |
2.2 实验部分 | 第25-32页 |
2.2.1 实验原料与仪器 | 第25-26页 |
2.2.2 Rh掺杂Zn O纳米粉体的制备 | 第26-27页 |
2.2.3 旁热式气敏元件的制备 | 第27-28页 |
2.2.4 气敏测试原理与性能指标 | 第28-31页 |
2.2.5 材料结构表征 | 第31-32页 |
2.3 结果与讨论 | 第32-42页 |
2.3.1 纳米材料结构与形貌的表征 | 第32-36页 |
2.3.2 Rh掺杂Zn O纳米材料气敏性能分析 | 第36-42页 |
2.4 本章小结 | 第42-45页 |
第3章 Sn-Rh共掺杂Zn O纳米粉体的制备及其气敏性能 | 第45-63页 |
3.1 引言 | 第45页 |
3.2 Sn掺杂和Sn-Rh共掺杂ZnO纳米粉体制备与表征 | 第45-46页 |
3.3 结果与讨论 | 第46-60页 |
3.3.1 纳米材料结构与形貌的表征 | 第46-52页 |
3.3.2 气敏性能分析 | 第52-57页 |
3.3.3 气敏机理研究 | 第57-60页 |
3.4 本章小结 | 第60-63页 |
第4章 结论与展望 | 第63-67页 |
4.1 主要结论 | 第63-64页 |
4.2 后续工作展望 | 第64-67页 |
参考文献 | 第67-75页 |
硕士期间取得的成果 | 第75-77页 |
致谢 | 第77页 |