| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 硫化锌的性能改性研究进展 | 第12-17页 |
| 1.2.1 硫化锌表面增透膜系研究现状及进展 | 第12-14页 |
| 1.2.2 亚波长增透结构研究现状及进展 | 第14-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 硫化锌抗反射亚波长结构的制备与测试方法 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 抗反射亚波长结构的设计 | 第19-20页 |
| 2.3 硫化锌表面亚波长结构的制备 | 第20-22页 |
| 2.3.1 实验设备及原理 | 第20-21页 |
| 2.3.2 亚波长结构制备流程 | 第21-22页 |
| 2.4 St(?)ber法制备二氧化硅微球 | 第22-24页 |
| 2.4.1 St(?)ber法制备二氧化硅微球的原理 | 第22-23页 |
| 2.4.2 St(?)ber法制备二氧化硅微球的流程 | 第23-24页 |
| 2.5 氧化铝保护膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.5.1 原子层沉积氧化铝薄膜反应原理 | 第24-25页 |
| 2.5.2 ALD沉积Al_2O_3薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 2.6 硫化锌表面亚波长结构的测试分析 | 第26-29页 |
| 2.6.1 薄膜结构成分及厚度分析 | 第26-27页 |
| 2.6.2 表面形貌及刻蚀高度分析 | 第27页 |
| 2.6.3 二维亚波长结构的性能分析 | 第27-29页 |
| 第3章 ZnS表面抗反射亚波长结构的设计与制备研究 | 第29-54页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 硫化锌表面抗反射微结构的理论计算与模拟设计 | 第29-39页 |
| 3.2.1 硫化锌表面抗反射微结构的理论计算 | 第29-31页 |
| 3.2.2 红外波段硫化锌表面亚波长结构的模拟设计 | 第31-33页 |
| 3.2.3 可见光波段硫化锌表面亚波长结构的模拟设计 | 第33-36页 |
| 3.2.4 具有最佳结构参数的硫化锌表面氧化铝保护膜的模拟设计 | 第36-39页 |
| 3.3 硫化锌表面单层二氧化硅微球的制备研究 | 第39-46页 |
| 3.3.1 St(?)ber法制备二氧化硅微球 | 第39-43页 |
| 3.3.2 垂直沉积法制备单层二氧化硅微球掩膜 | 第43-46页 |
| 3.4 刻蚀工艺参数对硫化锌表面亚波长结构高度的影响 | 第46-53页 |
| 3.4.1 刻蚀气体对刻蚀速率的影响 | 第46-48页 |
| 3.4.2 ICP功率对刻蚀速率的影响 | 第48-50页 |
| 3.4.3 RF功率对刻蚀速率的影响 | 第50-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 氧化铝薄膜为ZnS亚波长微纳结构保护层的研究 | 第54-69页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 原子层沉积Al_2O_3保护膜的制备研究 | 第54-64页 |
| 4.2.1 衬底的准备 | 第54页 |
| 4.2.2 ALD沉积温度对沉积速率及折射率的影响 | 第54-58页 |
| 4.2.3 ALD沉积Al_2O_3薄膜的成分分析 | 第58-63页 |
| 4.2.4 ALD沉积Al_2O_3薄膜的力学性能分析 | 第63-64页 |
| 4.3 硫化锌表面亚波长结构的增透性能 | 第64-66页 |
| 4.4 硫化锌表面亚波长结构对润湿性的影响 | 第66-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
