电热驱动式机械锁定微开关的研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 MEMS简介 | 第12-13页 |
| 1.2 MEMS微继电器/开关的研究现状 | 第13-23页 |
| 1.2.1 微继电器的驱动模式 | 第13-21页 |
| 1.2.2 微继电器的材料 | 第21-23页 |
| 1.3 本课题的研究意义及主要内容 | 第23-25页 |
| 第二章 电热微开关的结构设计与材料选择 | 第25-40页 |
| 2.1 电热微开关的结构设计 | 第25-30页 |
| 2.1.1 电热微开关的工作原理 | 第25-27页 |
| 2.1.2 电热微开关的结构设计 | 第27-30页 |
| 2.2 电热微开关的材料选择 | 第30-35页 |
| 2.2.1 电热微开关的材料选择 | 第31-32页 |
| 2.2.2 电泳聚合物的材料特性分析 | 第32-35页 |
| 2.3 电热微开关的有限元仿真分析 | 第35-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 电热微开关的微加工工艺 | 第40-55页 |
| 3.1 聚合物电泳沉积及其图形转移方法的研究 | 第40-47页 |
| 3.1.1 电泳沉积的原理 | 第40-41页 |
| 3.1.2 电泳聚合物的制备及图形转移 | 第41-46页 |
| 3.1.3 电泳聚合物与金属间的界面结合强度 | 第46-47页 |
| 3.2 电热微开关的制备工艺 | 第47-54页 |
| 3.2.1 电热微开关制备工艺流程 | 第47-50页 |
| 3.2.2 制备工艺中的注意事项 | 第50-54页 |
| 3.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 电热微开关的测试 | 第55-67页 |
| 4.1 电热微开关的外观形貌 | 第55-57页 |
| 4.2 电热微开关单臂梁性能的测试 | 第57-61页 |
| 4.3 电热微开关双臂梁性能的测试 | 第61-66页 |
| 4.3.1 时序双脉冲方波信号 | 第61-63页 |
| 4.3.2 电热微开关双稳态性能的测试 | 第63-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结 | 第67-70页 |
| 5.1 主要研究内容与结论 | 第67-68页 |
| 5.2 主要创新点 | 第68-69页 |
| 5.3 今后工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文和专利 | 第75页 |
