| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号表 | 第19-20页 |
| 1 绪论 | 第20-37页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第20-22页 |
| 1.2 国内外相关工作研究进展 | 第22-35页 |
| 1.2.1 硅片变形测量方法与装置的研究进展 | 第22-30页 |
| 1.2.2 硅片变形测量中消除重力附加变形方法的研究进展 | 第30-34页 |
| 1.2.3 硅片残余应力与变形关系的研究进展 | 第34-35页 |
| 1.3 论文的提出、来源与主要研究内容 | 第35-37页 |
| 1.3.1 论文的提出与来源 | 第35-36页 |
| 1.3.2 论文的主要内容 | 第36-37页 |
| 2 减薄硅片变形测量方法的提出 | 第37-45页 |
| 2.1 分离重力附加变形的计算法原理 | 第37-40页 |
| 2.2 消除重力影响的液浸法原理 | 第40-42页 |
| 2.3 减薄硅片变形测量方法 | 第42-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 3 减薄硅片变形测量装置开发 | 第45-68页 |
| 3.1 装置设计制造 | 第45-51页 |
| 3.1.1 气浮导轨 | 第45-46页 |
| 3.1.2 位移传感器 | 第46-47页 |
| 3.1.3 电机及驱动器 | 第47-48页 |
| 3.1.4 光栅反馈系统 | 第48-49页 |
| 3.1.5 定心与支撑机构 | 第49-51页 |
| 3.1.6 其它元件 | 第51页 |
| 3.2 控制系统开发 | 第51-59页 |
| 3.2.1 回零模块 | 第53页 |
| 3.2.2 运行模块 | 第53-57页 |
| 3.2.3 绘图模块 | 第57-59页 |
| 3.3 几何精度测量 | 第59-66页 |
| 3.3.1 定位精度测量 | 第60-62页 |
| 3.3.2 导轨直线度测量 | 第62-65页 |
| 3.3.3 测量不确定度分析及试验验证 | 第65-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 4 分离重力附加变形的计算法 | 第68-92页 |
| 4.1 重力附加变形仿真模型建立 | 第68-71页 |
| 4.1.1 接触模型建立 | 第68-69页 |
| 4.1.2 模型简化 | 第69-71页 |
| 4.2 有限元模型试验验证 | 第71-73页 |
| 4.3 支撑位置以及硅片直径与厚度对重力附加变形值的影响 | 第73-79页 |
| 4.3.1 支撑位置 | 第73-78页 |
| 4.3.2 硅片直径与厚度 | 第78-79页 |
| 4.4 支撑机构偏离对硅片重力附加变形的影响 | 第79-84页 |
| 4.4.1 支撑球径向偏离 | 第80-81页 |
| 4.4.2 支撑球周向偏离 | 第81页 |
| 4.4.3 支撑球竖向偏离 | 第81-82页 |
| 4.4.4 硅片偏离 | 第82-84页 |
| 4.5 支撑球与硅片位置确定 | 第84-90页 |
| 4.5.1 支撑球位置确定 | 第84-85页 |
| 4.5.2 硅片位置确定 | 第85-87页 |
| 4.5.3 位置确定验证 | 第87-90页 |
| 4.6 本章小结 | 第90-92页 |
| 5 消除重力影响的液浸法 | 第92-108页 |
| 5.1 重液选择 | 第92-94页 |
| 5.2 激光传感器读数标定 | 第94-98页 |
| 5.3 液浸法测量精度影响因素分析 | 第98-102页 |
| 5.3.1 导轨直线度 | 第98页 |
| 5.3.2 传感器精度 | 第98页 |
| 5.3.3 液体静压差 | 第98-100页 |
| 5.3.4 硅片偏离 | 第100-101页 |
| 5.3.5 残余重力附加变形 | 第101-102页 |
| 5.4 液浸法试验验证 | 第102-105页 |
| 5.4.1 厚硅片测量 | 第102-103页 |
| 5.4.2 薄硅片测量 | 第103-105页 |
| 5.5 不同粒度砂轮磨削硅片变形测量 | 第105-106页 |
| 5.6 本章小结 | 第106-108页 |
| 6 硅片残余应力与变形关系分析 | 第108-135页 |
| 6.1 通过变形反求表面残余应力 | 第108-127页 |
| 6.1.1 小变形时硅片变形与残余应力数学模型 | 第108-114页 |
| 6.1.2 小变形时加工应力与残余应力关系 | 第114-115页 |
| 6.1.3 大变形时硅片变形与残余应力数学模型 | 第115-124页 |
| 6.1.4 硅片变形分叉分析 | 第124-127页 |
| 6.2 残余应力对重力附加变形的影响 | 第127-133页 |
| 6.2.1 | 第128-132页 |
| 6.2.2 | 第132-133页 |
| 6.3 本章小结 | 第133-135页 |
| 7 结论与展望 | 第135-138页 |
| 7.1 结论 | 第135-136页 |
| 7.2 创新点 | 第136-137页 |
| 7.3 展望 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-144页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第144-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 作者简介 | 第146页 |