纳米时栅误差分析与实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 本文的研究背景，来源和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 大量程纳米级精密位移传感器研究概况 | 第9-11页 |
| 1.2.1 光栅传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 激光干涉仪 | 第10-11页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第11-14页 |
| 2 时栅位移传感器测量原理及发展 | 第14-24页 |
| 2.1 时空转换理论 | 第14-17页 |
| 2.2 机械式时栅传感器 | 第17-18页 |
| 2.3 磁场式时栅传感器 | 第18-20页 |
| 2.4 纳米时栅传感器 | 第20-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-24页 |
| 3 纳米时栅误差分析 | 第24-38页 |
| 3.1 行波概述 | 第24-26页 |
| 3.1.1 行波的意义 | 第24-25页 |
| 3.1.2 行波的构造 | 第25-26页 |
| 3.2 纳米时栅传感模型 | 第26-28页 |
| 3.3 纳米时栅误差分析 | 第28-36页 |
| 3.3.1 驻波信号幅值不相等 | 第28-30页 |
| 3.3.2 驻波时间不正交 | 第30-32页 |
| 3.3.3 驻波空间不正交 | 第32-34页 |
| 3.3.4 驻波信号含有高频干扰 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 实验系统搭建 | 第38-50页 |
| 4.1 纳米时栅实验系统概述 | 第38页 |
| 4.2 实验平台搭建 | 第38-39页 |
| 4.3 系统硬件设计 | 第39-44页 |
| 4.3.1 模拟信号调理电路 | 第40-41页 |
| 4.3.2 FPGA数字处理电路 | 第41-44页 |
| 4.4 系统软件设计 | 第44-49页 |
| 4.4.1 数据处理与图像识别模块 | 第44-45页 |
| 4.4.2 快速傅立叶分析模块 | 第45-47页 |
| 4.4.3 自适应坐标系与曲线绘制模块 | 第47-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 纳米时栅实验研究 | 第50-62页 |
| 5.1 传感器制作 | 第50-51页 |
| 5.2 系统稳定性实验 | 第51-52页 |
| 5.3 误差分析实验 | 第52-57页 |
| 5.3.1 幅值不相等 | 第52-53页 |
| 5.3.2 空间不正交 | 第53-54页 |
| 5.3.3 时间不正交 | 第54-55页 |
| 5.3.4 含有高频干扰 | 第55-57页 |
| 5.4 误差分离实验 | 第57-60页 |
| 5.4.1 静态误差分离修正 | 第57-58页 |
| 5.4.2 动态误差分离修正 | 第58-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第68页 |
