炮钢表面磁控溅射制备TiAlVN膜层及性能的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 论文的研究背景 | 第10-13页 |
| 1.1.1 研究目的与意义 | 第10页 |
| 1.1.2 国内外炮管延寿的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外氮化物硬质膜层的研究进展 | 第13-16页 |
| 1.2.1 氮化物硬质膜层的概述 | 第13-14页 |
| 1.2.2 二元氮化物膜层研究进展 | 第14页 |
| 1.2.3 TiN基三元膜层的研究进展 | 第14页 |
| 1.2.4 TiAlN硬质膜层的研究进展 | 第14-15页 |
| 1.2.5 TiAlN基四元膜层的研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.6 TiAlVN膜层的研究进展 | 第16页 |
| 1.3 磁控溅射镀膜技术的研究进展 | 第16-18页 |
| 1.3.1 磁控溅射镀膜原理及特点 | 第17页 |
| 1.3.2 磁控溅射技术发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验制备和表征方法 | 第20-25页 |
| 2.1 样品的制备 | 第20-21页 |
| 2.1.1 实验基材 | 第20页 |
| 2.1.2 基材预处理 | 第20-21页 |
| 2.2 溅射镀膜设备 | 第21页 |
| 2.3 镀膜制备流程 | 第21-22页 |
| 2.4 实验方案及工艺参数 | 第22页 |
| 2.5 表征方法及设备 | 第22-25页 |
| 2.5.1 组织形貌观察和成分分析 | 第22-23页 |
| 2.5.2 XRD物相结构的分析 | 第23页 |
| 2.5.3 纳米硬度及弹性模量的测试 | 第23页 |
| 2.5.4 摩擦磨损性能的测试 | 第23-24页 |
| 2.5.5 热震循环性能的测试 | 第24-25页 |
| 第3章 TiAlN膜层组织结构及性能研究 | 第25-41页 |
| 3.1 TiAlN膜层的形貌成分和相结构的分析 | 第25-31页 |
| 3.1.1 组织形貌的分析 | 第25-27页 |
| 3.1.2 化学成分的分析 | 第27-28页 |
| 3.1.3 表面粗糙度的分析 | 第28-30页 |
| 3.1.4 XRD相结构的分析 | 第30-31页 |
| 3.2 TiAlN膜层力学性能的讨论与分析 | 第31-36页 |
| 3.2.1 纳米硬度和弹性模量的分析 | 第31-32页 |
| 3.2.2 抗摩擦磨损性能的分析 | 第32-36页 |
| 3.3 TiAlN膜层抗热震性能的讨论与分析 | 第36-40页 |
| 3.4 本章小节 | 第40-41页 |
| 第4章 TiAlVN膜层的组织结构及性能研究 | 第41-64页 |
| 4.1 TiAlVN膜层的形貌成分和相结构的分析 | 第41-48页 |
| 4.1.1 组织形貌的分析 | 第41-43页 |
| 4.1.2 化学成分的分析 | 第43-45页 |
| 4.1.3 表面粗糙度的分析 | 第45-47页 |
| 4.1.4 XRD相结构的分析 | 第47-48页 |
| 4.2 TiAlVN膜层力学性能的讨论与分析 | 第48-55页 |
| 4.2.1 纳米硬度和弹性模量分析 | 第48-49页 |
| 4.2.2 不同法向载荷的磨损性能分析 | 第49-51页 |
| 4.2.3 不同钒含量的磨损性能分析 | 第51-55页 |
| 4.3 TiAlVN膜层抗热震性能讨论与分析 | 第55-63页 |
| 4.3.1 不同钒含量的热震性能分析 | 第55-59页 |
| 4.3.2 TiAl(V)N膜层热震对比分析 | 第59-63页 |
| 4.4 本章小节 | 第63-64页 |
| 第5章 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 在学研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
