| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-49页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 半导体氧化物气体传感器 | 第12-19页 |
| 1.2.1 半导体气体传感器的发展史 | 第12-13页 |
| 1.2.2 半导体气体传感器结构分类 | 第13-14页 |
| 1.2.3 半导体气体传感器敏感机理 | 第14-19页 |
| 1.3 紫外光驱动半导体气体传感器 | 第19-23页 |
| 1.3.1 紫外光驱动半导体气体传感器研究进展 | 第19页 |
| 1.3.2 紫外光驱动半导体气体传感器机理 | 第19-23页 |
| 1.4 基于微纳阵列的半导体气体传感器 | 第23-36页 |
| 1.4.1 二维有序微纳阵列薄膜 | 第23-25页 |
| 1.4.2 胶体晶体球模板法制备微纳有序结构薄膜 | 第25-31页 |
| 1.4.3 微纳结构有序阵列薄膜的气敏特性 | 第31-36页 |
| 1.5 本文研究意义和研究内容 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-49页 |
| 第二章 紫外光驱动下微纳阵列薄膜的微结构参数对气敏特性的影响 | 第49-71页 |
| 2.1 引言 | 第49-50页 |
| 2.2 实验部分 | 第50-53页 |
| 2.2.1 实验材料与设备 | 第50页 |
| 2.2.2 方法与过程 | 第50-52页 |
| 2.2.3 结构表征与气敏测试 | 第52-53页 |
| 2.3 紫外光光强和薄膜孔径尺寸对气敏特性的影响 | 第53-59页 |
| 2.3.1 结构与形貌表征 | 第53-55页 |
| 2.3.2 薄膜孔径尺寸对NO_2气敏特性影响 | 第55-57页 |
| 2.3.3 紫外光光强对NO_2气敏特性影响 | 第57-59页 |
| 2.4 薄膜结构对NO_2气敏特性的影响 | 第59-66页 |
| 2.4.1 结构与形貌表征 | 第59-61页 |
| 2.4.2 结构对NO_2气敏性能影响 | 第61-63页 |
| 2.4.3 结构对气敏性能影响的机制分析 | 第63-66页 |
| 2.5 小结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 第三章 紫外光驱动下多孔薄膜厚度对灵敏度的影响 | 第71-95页 |
| 3.1 引言 | 第71-72页 |
| 3.2 理论模型 | 第72-75页 |
| 3.2.1 光生载流子表达式 | 第72-74页 |
| 3.2.2 灵敏度表达式 | 第74-75页 |
| 3.3 实验部分 | 第75-78页 |
| 3.3.1 实验材料与设备 | 第75-76页 |
| 3.3.2 多层ZnO有序多孔薄膜的制备 | 第76-77页 |
| 3.3.3 ZnO空心纳米颗粒的制备 | 第77页 |
| 3.3.4 ZnO多孔纳米片的制备 | 第77页 |
| 3.3.5 自组装法制备多层ZnO薄膜 | 第77页 |
| 3.3.6 结构表征与气敏测试 | 第77-78页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第78-88页 |
| 3.4.1 结构与形貌 | 第78-81页 |
| 3.4.2 气敏性能测试 | 第81-87页 |
| 3.4.3 薄膜厚度与气敏性能关系的机理 | 第87-88页 |
| 3.5 小结与展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-95页 |
| 第四章 金属氧化物空心球阵列薄膜的制备及其气敏特性研究 | 第95-127页 |
| 4.1 引言 | 第95-96页 |
| 4.2 金属氧化物空心球阵列的制备 | 第96-99页 |
| 4.2.1 实验材料与设备 | 第96页 |
| 4.2.2 方法与过程 | 第96-98页 |
| 4.2.3 结构表征与气敏测试 | 第98-99页 |
| 4.3 结构与讨论 | 第99-120页 |
| 4.3.1 氧化铁空心球阵列薄膜 | 第99-109页 |
| 4.3.2 氧化锌空心球阵列薄膜 | 第109-117页 |
| 4.3.3 氧化镍空心球阵列薄膜 | 第117-118页 |
| 4.3.4 其他空心球阵列薄膜 | 第118-120页 |
| 4.4 小结与展望 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-127页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第130-131页 |