白光干涉术的测量系统与处理算法的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 1 绪论 | 第13-24页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第13-14页 |
| ·超精密器件测量方法 | 第14-22页 |
| ·机械触针法 | 第14-15页 |
| ·扫描隧道显微法 | 第15-17页 |
| ·原子力显微法 | 第17-19页 |
| ·激光聚焦法 | 第19-21页 |
| ·显微干涉法 | 第21-22页 |
| ·课题主要研究的内容 | 第22-24页 |
| 2 白光干涉信号处理算法 | 第24-42页 |
| ·白光干涉信号光路 | 第24-26页 |
| ·白光干涉信号处理算法 | 第26-41页 |
| ·白光干涉信号的数学模型 | 第27-29页 |
| ·插值法 | 第29页 |
| ·重心法 | 第29-30页 |
| ·傅立叶变换法 | 第30-32页 |
| ·空间频域法 | 第32-36页 |
| ·白光相移干涉法 | 第36-40页 |
| ·各种算法比较 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 3 白光干涉测量系统 | 第42-54页 |
| ·系统的硬件部分 | 第42-47页 |
| ·机械支撑及运动部分 | 第42-44页 |
| ·照明光源部分 | 第44-45页 |
| ·光学干涉部分 | 第45-46页 |
| ·图样采集部分 | 第46-47页 |
| ·系统的软件部分 | 第47-49页 |
| ·系统测试 | 第49-53页 |
| ·白光光源中心波长的标定 | 第49页 |
| ·PZT步距的标定 | 第49-50页 |
| ·系统的横向测量范围 | 第50页 |
| ·系统的纵向测量范围 | 第50-52页 |
| ·系统的横向分辨率 | 第52页 |
| ·系统的垂直分辨率 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 实验数据的处理和分析 | 第54-70页 |
| ·标准样板的测量 | 第54-60页 |
| ·重复性及稳定性实验 | 第54-55页 |
| ·不确定度分析 | 第55-57页 |
| ·比对实验 | 第57-60页 |
| ·实验测量结果 | 第60-66页 |
| ·图像预处理 | 第60-63页 |
| ·利用白光干涉系统测量不同形貌尺寸的样品 | 第63-66页 |
| ·大尺寸测量方法 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 5 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·工作总结 | 第70-71页 |
| ·本文创新点 | 第71页 |
| ·工作展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 作者简历 | 第76页 |
