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c轴取向的hcp-CoIr软磁薄膜的溅射制备及微观磁畴结构研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-21页
   ·研究背景第10-11页
   ·软磁薄膜的应用及研究现状第11-12页
     ·纳米晶软磁薄膜第11页
     ·软磁颗粒膜第11-12页
     ·软磁多层膜第12页
   ·软磁薄膜的Néer壁转变厚度第12-15页
     ·软磁薄膜畴壁能量的计算第12-14页
     ·提高软磁薄膜Néer壁转变厚度第14-15页
   ·软磁薄膜的条纹畴转变厚度第15-16页
   ·本文的研究内容及意义第16-18页
 参考文献第18-21页
第二章 薄膜制备和表征方法第21-31页
   ·薄膜的制备第21-23页
     ·磁控溅射装置第21-22页
     ·薄膜制备流程第22-23页
   ·薄膜的性能表征方法第23-30页
     ·薄膜的厚度测定第23-24页
     ·薄膜的成分测定第24页
     ·薄膜晶体结构分析第24-25页
     ·薄膜的表面形貌及微观磁畴结构观测第25-27页
     ·薄膜的宏观磁性测量第27页
     ·薄膜磁各向异性的测试第27-30页
 参考文献第30-31页
第三章 薄膜衬底的选取及溅射工艺优化第31-40页
   ·衬底的选取第31-32页
   ·薄膜溅射工艺优化第32-36页
     ·溅射速率的测定第32页
     ·Au的溅射条件对薄膜结晶和取向的影响第32-34页
     ·Ti的溅射条件对薄膜结晶和取向的影响第34-35页
     ·基片旋转对薄膜结晶和取向的影响第35-36页
     ·Co的溅射条件对薄膜结晶和取向的影响第36页
   ·Ir成分的确定第36-37页
   ·高c轴取向hcp-Co_(80)Ir_(20)薄膜的制备第37-38页
   ·小结第38-39页
 参考文献第39-40页
第四章 c轴取向的hcp-Co_(83)Ir_(17)软磁薄膜的畴结构及其随外场演化特征第40-49页
   ·Co_(83)Ir_(17)薄膜的晶体结构第40-41页
   ·Co_(83)Ir_(17)薄膜的表面形貌第41-42页
     ·原子力显微镜表征结果第41页
     ·透射电子显微镜表征结果第41-42页
   ·Co_(83)Ir_(17)薄膜的静态磁性第42-43页
   ·Co_(83)Ir_(17)薄膜的微观磁畴结构第43-46页
     ·退磁状态下的样品的微观磁畴结构第43-44页
     ·磁化反转过程中的样品的微观磁畴结构第44-46页
   ·小结第46-48页
 参考文献第48-49页
第五章 c轴取向的Co_(81)Ir_(19)薄膜Néer壁临界转换厚度第49-60页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜的制备第49页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜的晶体结构第49-50页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜的表面形貌第50-52页
     ·原子力显微镜表征结果第50-51页
     ·透射电子显微镜表征结果第51-52页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜的静态磁性第52-53页
     ·VSM测试结果第52页
     ·SQUID测试结果第52-53页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜的磁各向异性表征第53-55页
   ·50 nm Co_(81)Ir_(19)薄膜的微观磁畴结构观测第55-56页
   ·不同厚度Co_(81)Ir_(19)薄膜磁力显微镜测试图第56-57页
   ·Co_(81)Ir_(19)薄膜奈尔壁转变厚度第57-58页
   ·小结第58-59页
 参考文献第59-60页
第六章 成分对c轴取向Co_(1-x)Ir_x薄膜微观磁畴结构及畴壁的调控第60-68页
   ·不同成分Co_(1-x)Ir_x薄膜的制备第60-61页
   ·Co_(1-x)Ir_x薄膜的成分确定第61页
   ·Co_(1-x)Ir_x薄膜的晶体结构第61-62页
   ·Co_(1-x)Ir_x薄膜的静态磁性第62-65页
   ·Co_(1-x)Ir_x薄膜的微观磁畴结构第65-66页
   ·小结第66-67页
 参考文献第67-68页
第七章 结论和展望第68-70页
   ·主要结论第68页
   ·展望第68-70页
在学期间的研究成果第70-71页
致谢第71页

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