| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-22页 |
| ·半导体光电薄膜材料研究概况 | 第12-13页 |
| ·半导体材料 | 第12页 |
| ·半导体薄膜材料在光电领域的应用 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的研究历史和发展现状 | 第13-15页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO材料的研究历史 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜的发展现状 | 第15页 |
| ·ZnO掺杂的研究概况 | 第15-17页 |
| ·Mg和S掺杂ZnO薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O薄膜的特性与研究现状 | 第17-18页 |
| ·ZnO_(1-y)S_y薄膜的特性与研究现状 | 第18-19页 |
| ·本课题的选题背景和研究内容 | 第19-22页 |
| ·选题背景 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第20-22页 |
| 2 外延薄膜的制备工艺与表征测试方法 | 第22-40页 |
| ·半导体薄膜的制备方法简介 | 第22-25页 |
| ·金属有机化学气相沉积法(MOCVD) | 第22-23页 |
| ·分子束外延法(MBE) | 第23-24页 |
| ·溅射法(Sputter) | 第24页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第24-25页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)技术 | 第25-30页 |
| ·脉冲激光沉积概述 | 第25页 |
| ·脉冲激光沉积的原理 | 第25-27页 |
| ·脉冲激光沉积系统 | 第27-30页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的制备工艺 | 第30-33页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y靶材的制备 | 第30-31页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的制备 | 第31-33页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的表征手段 | 第33-40页 |
| ·原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM) | 第33-34页 |
| ·X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD) | 第34-35页 |
| ·紫外-可见分光光度计(UV-VIS Spectrophotometer) | 第35页 |
| ·X射线光电子能谱(X-Ray Photoelectron Spectroscopy,XPS) | 第35-37页 |
| ·拉曼光谱(Raman Spectrum) | 第37-40页 |
| 3 沉积氧压对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜结构和性能的影响 | 第40-51页 |
| ·样品的制备 | 第40页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-50页 |
| ·沉积氧压对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜表面形貌的影响 | 第40-44页 |
| ·沉积氧压对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜相结构的影响 | 第44-45页 |
| ·沉积氧压对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜成分的影响 | 第45-47页 |
| ·沉积氧压对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜光学性能的影响 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜结构和性能的影响 | 第51-63页 |
| ·样品的制备 | 第51-52页 |
| ·实验结果与讨论 | 第52-62页 |
| ·衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜表面形貌的影响 | 第52-55页 |
| ·衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜相结构的影响 | 第55-56页 |
| ·衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜成分的影响 | 第56-60页 |
| ·衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜光学性能的影响 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 不同Mg和S含量的单相Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜性能讨论 | 第63-80页 |
| ·不同Mg含量Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的制备和结果讨论 | 第63-71页 |
| ·样品的制备 | 第63页 |
| ·结果讨论 | 第63-71页 |
| ·不同S含量Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的制备和结果讨论 | 第71-78页 |
| ·硫含量变化对薄膜晶格常数的影响 | 第72-74页 |
| ·不同硫含量薄膜XPS结果讨论 | 第74-76页 |
| ·不同硫含量薄膜光学性质讨论 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
