基于MEMS技术的无线多功能集成传感器的研制
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·研究背景及意义 | 第7页 |
| ·声表面波器件的研究进展 | 第7-9页 |
| ·声表面波器件的应用 | 第9-11页 |
| ·课题研究的目的及研究内容 | 第11-12页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·技术路线及实验工艺流程 | 第12页 |
| ·本文章节安排 | 第12-14页 |
| 2 SAW传感器的工作原理和设计方法 | 第14-24页 |
| ·声表面波基本概念 | 第14-15页 |
| ·声表面波器件工作原理 | 第15-21页 |
| ·叉指换能器的工作原理 | 第15-18页 |
| ·叉指换能器等效电路 | 第18-20页 |
| ·SAW传感器基本理论 | 第20-21页 |
| ·声表面波器件加工工艺 | 第21-22页 |
| ·声表面波器件的特性 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 SAW温度和气体传感器的设计 | 第24-32页 |
| ·SAW传感器压电材料的研究 | 第24-26页 |
| ·压电基片的准备 | 第24-25页 |
| ·硅片的结构与功能 | 第25-26页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第26-29页 |
| ·叉指换能器结构设计 | 第26-27页 |
| ·反射栅的设计 | 第27-29页 |
| ·器件结构设计 | 第29-31页 |
| ·温度传感器 | 第29-30页 |
| ·气体传感器 | 第30-31页 |
| ·掩模板图的绘制 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 SAW温度和气体传感器的制作 | 第32-45页 |
| ·SAW传感器的制作流程和工艺 | 第32-35页 |
| ·清洗 | 第32-33页 |
| ·光刻技术 | 第33-34页 |
| ·刻蚀 | 第34-35页 |
| ·剥离 | 第35页 |
| ·实验方案及结果分析 | 第35-40页 |
| ·温度传感器实验方案制作流程 | 第35-38页 |
| ·气体传感器实验方案制作流程 | 第38-40页 |
| ·SAW气体传感器敏感膜的制作 | 第40-44页 |
| ·SAW气体传感器敏感膜的研究 | 第40-41页 |
| ·敏感膜的种类 | 第41-42页 |
| ·敏感膜的成膜的方式 | 第42-43页 |
| ·真空热蒸发镀膜 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 SAW温度和气体传感器接口电路设计和测试 | 第45-54页 |
| ·声表面波器件的封装 | 第45-46页 |
| ·SAW传感器接口电路设计 | 第46-50页 |
| ·无线SAW传感器检测原理 | 第46-47页 |
| ·无线SAW传感器 | 第47页 |
| ·无线SAW传感器天线 | 第47-48页 |
| ·无线SAW传感器阻抗匹配网络 | 第48-50页 |
| ·器件性能的测试与对比 | 第50-53页 |
| ·网络分析仪校正 | 第50页 |
| ·测试结果及分析 | 第50-51页 |
| ·器件的测试 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论与展望 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
