高精度二维工作台关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题的来源和研究意义 | 第9-10页 |
| ·课题的来源 | 第9页 |
| ·课题的研究意义 | 第9-10页 |
| ·高精度定位工作台国内外发展现状 | 第10-14页 |
| ·高精度二维工作台的关键技术 | 第14-16页 |
| ·导向技术 | 第14页 |
| ·驱动技术 | 第14-15页 |
| ·检测技术 | 第15-16页 |
| ·控制技术 | 第16页 |
| ·直线电机驱动技术存在的问题 | 第16-18页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 高精度二维工作台系统的构建 | 第19-37页 |
| ·高精度二维工作台定位系统的组成 | 第19-21页 |
| ·驱动系统的选择 | 第19-20页 |
| ·导向系统的选择 | 第20页 |
| ·检测系统的选择 | 第20-21页 |
| ·直线电机驱动系统的建模 | 第21-37页 |
| ·直线电机的基本结构原理和分类 | 第22-28页 |
| ·永磁直线同步电机的结构原理和数学模型 | 第28-34页 |
| ·直线电机驱动系统的数学模型 | 第34-37页 |
| 第3章 基于PMAC的工作台伺服控制系统研究 | 第37-59页 |
| ·永磁直线同步电机伺服控制系统的介绍 | 第37-41页 |
| ·伺服系统的控制方式 | 第37-38页 |
| ·伺服系统的控制结构 | 第38-39页 |
| ·伺服系统的控制器选择 | 第39-41页 |
| ·PMAC运动控制卡的介绍 | 第41-46页 |
| ·PMAC的概述 | 第41-43页 |
| ·PMAC硬件主要组成部分 | 第43-44页 |
| ·PMAC的软件主要组成部分 | 第44-46页 |
| ·基于PMAC的复合PID控制算法研究 | 第46-59页 |
| ·直线电机伺服系统控制策略介绍 | 第46-48页 |
| ·PID的基本控制规律 | 第48-53页 |
| ·PID+速度/加速度前馈+滤波器的复合控制算法 | 第53-59页 |
| 第4章 伺服控制系统的调试和工作台定位精度分析 | 第59-79页 |
| ·基于Pewin32调试软件对控制系统的参数调整 | 第59-70页 |
| ·控制系统PID参数调整 | 第61-66页 |
| ·控制系统速度/加速度前馈参数的调整 | 第66-70页 |
| ·高精度二维工作台的定位精度测量 | 第70-76页 |
| ·工作台定位精度的评定标准 | 第70-72页 |
| ·定位误差的测量及计算 | 第72-76页 |
| ·高精度二维工作台定位精度分析 | 第76-79页 |
| 第5章 基于PMAC的运动控制程序设计 | 第79-85页 |
| ·运动程序的基本结构 | 第79-80页 |
| ·运动程序的语法 | 第80-82页 |
| ·运动程序的编写实例及运动轨迹 | 第82-85页 |
| 第6章 总结 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
