| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-19页 |
| §1．1 悬浮技术的研究和应用概况 | 第8-14页 |
| §1．2 现有悬浮技术的局限性及静电悬浮的新发展 | 第14-16页 |
| §1．3 本论文的主要内容 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 光电反馈式静电悬浮方法的总体方案 | 第19-25页 |
| §2．1 光电反馈式静电悬浮技术的原理与方法 | 第19-21页 |
| §2．2 静电悬浮的电极板设计 | 第21-23页 |
| §2．3 静电悬浮及静电搬运技术 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-25页 |
| 第三章 静电悬浮的机理及静电悬浮力的理论和实验研究 | 第25-39页 |
| §3．1 静电场与静电力 | 第25-28页 |
| §3．1．1 固态绝缘体的带电方法 | 第25页 |
| §3．1．2 静电力的种类 | 第25-27页 |
| §3．1．3 静电力引起的力学现象 | 第27-28页 |
| §3．2 静电悬浮的机理研究 | 第28-30页 |
| §3．2．1 导电悬浮体的静电感应 | 第28-29页 |
| §3．2．2 绝缘悬浮体的静电极化 | 第29-30页 |
| §3．3 静电悬浮力的理论研究及推导 | 第30-34页 |
| §3．4 静电悬浮力的实验研究 | 第34-38页 |
| §3．4．1 静电悬浮力的测量原理及装置 | 第34-35页 |
| §3．4．2 不同电极板时的静电悬浮力测量结果 | 第35-38页 |
| §3．4．3 实验结果分析 | 第38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第四章 悬浮体的姿态分析及悬浮间距的光电检测探头研究 | 第39-51页 |
| §4．1 悬浮体的姿态及其与悬浮间距的相互关系分析 | 第39-41页 |
| §4．2 悬浮间距的光电检测探头研究 | 第41-49页 |
| §4．2．1 微小间距或微位移的测量方法概述 | 第41-42页 |
| §4．2．2 光电位置敏感元件（PSD）的工作原理 | 第42-43页 |
| §4．2．3 激光三角法测距原理 | 第43-45页 |
| §4．2．4 光电检测探头的设计及非线性校正 | 第45-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 第五章 静电悬浮的光电反馈控制理论及控制系统研究 | 第51-68页 |
| §5．1 反馈控制理论概述 | 第51-53页 |
| §5．1．1 控制系统 | 第51-53页 |
| §5．1．2 控制系统的根轨迹设计方法 | 第53页 |
| §5．2 PID反馈控制技术及系统建模研究 | 第53-61页 |
| §5．2．1 PID反馈控制方法 | 第53-55页 |
| §5．2．2 反馈控制系统建模 | 第55-61页 |
| §5．3 静电悬浮的光电反馈控制系统设计 | 第61-67页 |
| §5．3．1 反馈控制系统参数的仿真设计 | 第61-64页 |
| §5．3．2 光电反馈控制系统的建立 | 第64-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第六章 高电压放大电路——高压脉动跟随模块的设计 | 第68-76页 |
| §6．1 电极板的高电压控制 | 第68-69页 |
| §6．2 低压——高压转换与跟随电路的工作原理 | 第69-71页 |
| §6．3 高压脉动跟随模块的研制 | 第71-72页 |
| §6．4 高压放大电路的实验结果 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-76页 |
| 第七章 光电反馈式静电悬浮装置的研制及其实验研究 | 第76-81页 |
| §7．1 实验装置的总调试 | 第76-78页 |
| §7．2 导电性悬浮体的静电悬浮 | 第78-79页 |
| §7．3 常规绝缘体的静电悬浮 | 第79-80页 |
| §7．4 半导体的静电悬浮 | 第80-81页 |
| 第八章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
