| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 图表清单 | 第8-9页 |
| 注释表 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·微细电解加工技术及其发展现状 | 第10-14页 |
| ·成形电极法微细电解加工技术 | 第10-11页 |
| ·光刻微细电解加工技术 | 第11-12页 |
| ·掩模板微细电解加工技术 | 第12-13页 |
| ·其他微细电解加工技术 | 第13-14页 |
| ·课题来源及本文主要的研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 试验原理及电解加工过程有限元分析 | 第15-29页 |
| ·试验原理 | 第15-17页 |
| ·电解加工原理 | 第15-16页 |
| ·Al-Al_2O_3模板阴极法微细电解原理 | 第16-17页 |
| ·电解加工过程有限元分析 | 第17-27页 |
| ·电解加工过程有限元仿真介绍 | 第17页 |
| ·电场模型 | 第17-19页 |
| ·基于 APDL 语言编程的电解过程仿真模拟 | 第19-20页 |
| ·电解过程有限元分析 | 第20-27页 |
| ·陶瓷层厚度对电解结果的影响 | 第20-26页 |
| ·电压 U 对电解结果的影响 | 第26页 |
| ·Al-Al_2O_3模板阴极上铝层厚度 1对电解结果的影响 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 试验系统的建立 | 第29-39页 |
| ·模板的制备 | 第29-32页 |
| ·光化学蚀刻制备铝模板 | 第29-30页 |
| ·掩蔽阴极法制作铝模板 | 第30-31页 |
| ·微弧氧化法制备 Al-Al_2O_3模板 | 第31-32页 |
| ·微细电解试验系统 | 第32-37页 |
| ·微细电解电源 | 第32-34页 |
| ·电解液的选择 | 第34-37页 |
| ·电解夹具 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 微细电解试验工艺研究 | 第39-44页 |
| ·电解液质量分数 1对电解结果的影响 | 第39页 |
| ·膜层厚度对微细电解的影响 | 第39-41页 |
| ·加工电压 U 对电解结果的影响 | 第41-42页 |
| ·优化参数下的阵列孔加工 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 总结与展望 | 第44-46页 |
| ·文章完成的主要内容 | 第44页 |
| ·工作展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第50页 |