长焦深数字灰度光刻物镜设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 续论 | 第8-13页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第8-10页 |
| ·数字灰度光刻的发展状况 | 第8-10页 |
| ·数字灰度光刻所遇到的挑战 | 第10页 |
| ·长焦深数字灰度光刻技术 | 第10-11页 |
| ·本文创新点和内容安排 | 第11-13页 |
| 第2章 系统设计的基础理论 | 第13-23页 |
| ·衍射基本理论 | 第13-19页 |
| ·亥姆霍兹方程 | 第13-14页 |
| ·格林定理和亥姆霍兹-基尔霍夫积分定理 | 第14-17页 |
| ·基尔霍夫边界条件 | 第17-18页 |
| ·瑞利——索末菲衍射公式 | 第18-19页 |
| ·相位模板延拓焦深的原理 | 第19-23页 |
| ·光瞳编码与系统点扩散函数的关系 | 第19-21页 |
| ·光瞳编码参数设计方法 | 第21-23页 |
| 第3章 相位模板的设计 | 第23-30页 |
| ·最佳半径的计算 | 第23-27页 |
| ·步幅为 0.1 的搜索 | 第24-26页 |
| ·步幅为 0.01 的精搜索 | 第26-27页 |
| ·模板相位误差分析 | 第27-30页 |
| 第4章 长焦深光刻物镜的设计 | 第30-55页 |
| ·系统的基本结构及原理 | 第30-33页 |
| ·光刻物镜的结构和参数 | 第33-38页 |
| ·光刻物镜的结构与参数的确定 | 第33-36页 |
| ·投影光刻物镜的像质评价方法 | 第36-38页 |
| ·双远心投影成像物镜的设计 | 第38-52页 |
| ·物镜前组的设计 | 第38-44页 |
| ·物镜后组的设计 | 第44-46页 |
| ·激光器微小色差的校正 | 第46-47页 |
| ·光刻物镜的整体优化 | 第47-50页 |
| ·公差分析 | 第50-52页 |
| ·光瞳模板的仿真 | 第52-55页 |
| ·非序列模式的实现 | 第52-53页 |
| ·光瞳模板的仿真 | 第53-55页 |
| 第5章 长焦深数字灰度光刻技术仿真实验 | 第55-62页 |
| 第6章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62-63页 |
| ·后续工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录Ⅰ | 第68页 |
