| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-16页 |
| ·化学机械抛光过程在线检测技术国内外研究现状 | 第16-22页 |
| ·CMP过程动态力在线检测研究现状 | 第17-19页 |
| ·CMP抛光温度在线检测研究现状 | 第19-22页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·主要研究内容 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 不锈钢基板在线检测系统的设计与构建 | 第24-42页 |
| ·不锈钢基板CMP过程参数检测方法研究 | 第24-28页 |
| ·不锈钢基板动态压力检测方法选择 | 第24-26页 |
| ·不锈钢基板抛光温度检测方法的选择 | 第26-28页 |
| ·不锈钢基板过程参数在线检测系统硬件构成 | 第28-37页 |
| ·不锈钢基板动态压力检测系统硬件的选型 | 第28-31页 |
| ·不锈钢基板抛光温度检测系统硬件设计 | 第31-35页 |
| ·数据采集卡的选型 | 第35-37页 |
| ·不锈钢基板在线检测系统软件构成 | 第37-40页 |
| ·数据采集软件程序设计 | 第37-38页 |
| ·数据采集软件功能的实现 | 第38-40页 |
| ·不锈钢基板在线检测系统抗干扰研究 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 基于动态压力和抛光温度在线检测系统的不锈钢基板CMP过程试验方法 | 第42-49页 |
| ·实验仪器 | 第42-44页 |
| ·抛光质量检测设备 | 第44-46页 |
| ·实验材料与参数 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 不锈钢基板CMP过程动态压力和抛光温度检测及其对抛光效果影响实验研究 | 第49-63页 |
| ·不锈钢基板软硬件参数设定及过程参数采样数据的处理 | 第49-51页 |
| ·抛光工艺参数对不锈钢基板过程参数的影响规律研究 | 第51-55页 |
| ·抛光垫工艺参数对不锈钢基板过程参数的影响规律研究 | 第55-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 不锈钢基板抛光温度经验公式的建立及工艺参数优化 | 第63-79页 |
| ·不锈钢基板抛光温度经验公式的建立 | 第63-69页 |
| ·抛光温度经验公式选型 | 第63-65页 |
| ·抛光温度函数拟合结果与分析 | 第65-68页 |
| ·抛光温度经验公式误差的分析 | 第68-69页 |
| ·抛光工艺参数优化 | 第69-77页 |
| ·工艺参数正交试验的设计 | 第69-71页 |
| ·工艺参数实验结果与分析 | 第71-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 结论与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
