等离子体无损快速抛光工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·国外研究状况 | 第10-13页 |
| ·国内研究状况 | 第13-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15页 |
| ·本文的组织结构 | 第15-16页 |
| 2 大气等离子体抛光的理论基础 | 第16-28页 |
| ·大气等离子体的理论基础 | 第16-19页 |
| ·等离子体的基本理论 | 第16-17页 |
| ·大气等离子体的产生方法 | 第17-19页 |
| ·大气射流等离子体 | 第19-20页 |
| ·大气射流等离子体抛光原理 | 第20-23页 |
| ·表面检测装置 | 第23-25页 |
| ·Taylor Hobson轮廓检测仪 | 第23-24页 |
| ·TalySurf CCI非接触式表面轮廓仪 | 第24-25页 |
| ·纳米压痕仪 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 实验装置的改进与研制 | 第28-40页 |
| ·大气等离子体抛光实验平台 | 第28-29页 |
| ·大气射流等离子体发生系统 | 第29-30页 |
| ·等离子体发生器 | 第29-30页 |
| ·等离子体喷枪及载气气源系统 | 第30页 |
| ·等离子体喷枪支架 | 第30页 |
| ·气路系统 | 第30-35页 |
| ·气源选择 | 第30-31页 |
| ·喷枪结构及气路分布 | 第31-33页 |
| ·喷咀结构 | 第33-35页 |
| ·六轴传动机器人 | 第35-38页 |
| ·夹具的介绍 | 第36页 |
| ·喷枪零位定标 | 第36-38页 |
| ·冷却系统 | 第38-39页 |
| ·尾气处理系统 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 实验及数据处理 | 第40-66页 |
| ·大气射流等离子体火抛实验 | 第40-44页 |
| ·正交实验 | 第41-43页 |
| ·单因素实验 | 第43-44页 |
| ·大气射流等离子体反应刻蚀研究 | 第44-50页 |
| ·正交实验 | 第45-46页 |
| ·单因素实验 | 第46-50页 |
| ·平面加工实验 | 第50-65页 |
| ·点到线的加工 | 第50-52页 |
| ·平面石英玻璃整面加工 | 第52-63页 |
| ·热效应分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 结论与展望 | 第66-69页 |
| ·结论 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
