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气体挤压膜悬浮平台驱动技术的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-14页
第一章 绪论第14-23页
   ·引言第14-16页
   ·压电陶瓷执行器和驱动电源的研究第16-20页
     ·压电陶瓷执行器的应用第16-17页
     ·压电陶瓷驱动电源的研究第17-20页
   ·压电陶瓷驱动电源国内外研究现状第20-21页
     ·国内压电陶瓷驱动电源研究现状第20页
     ·国外压电陶瓷驱动电源研究现状第20-21页
   ·论文主要研究内容第21-23页
第二章 气体挤压膜理论和压电陶瓷驱动特性第23-33页
   ·引言第23页
   ·气体挤压膜模型的建立第23-25页
     ·Navier-Stokes 方程第23-24页
     ·直角坐标系 Reynolds 方程第24页
     ·气体挤压膜模型第24-25页
   ·气体挤压膜特性的分析第25-28页
     ·基本模型第25-26页
     ·雷诺方程的数值求解第26-28页
   ·压电陶瓷的特性第28-32页
     ·正压电效应和逆压电效应第28-29页
     ·压电振子和谐振特性第29页
     ·压电晶体的介电性质第29-31页
     ·压电陶瓷的其他特性第31-32页
   ·本章小结第32-33页
第三章 驱动电源性能分析第33-36页
   ·引言第33页
   ·驱动电源的频率特性分析第33-34页
     ·带宽和转换速率的影响第33-34页
     ·容性负载的影响第34页
   ·电源驱动电流能力的分析第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 驱动电源的设计第36-51页
   ·引言第36页
   ·驱动电源参数要求第36页
   ·驱动电源设计原理第36-37页
   ·驱动电源高压放大级电路设计第37-40页
     ·高压集成运放芯片的选择第37页
     ·高压放大级辅助电路第37-39页
     ·高压放大级电路图第39-40页
   ·驱动电源功率放大级设计第40-42页
     ·功率放大器的分类第40页
     ·功率放大电路的设计原理第40-42页
   ·驱动电源电路原理图第42-43页
   ·驱动电源稳定性分析第43-47页
     ·集成运放对稳定性的影响第43页
     ·负反馈对稳定性的影响第43-46页
     ·驱动电源旁路对稳定性的影响第46页
     ·驱动电源其它因素对稳定性的影响第46-47页
   ·驱动电源电路仿真第47-50页
     ·驱动电源频率特性的仿真第48-49页
     ·驱动电源对阶跃信号的响应第49-50页
     ·驱动电源对三角波信号的响应第50页
     ·驱动电源的波特图第50页
   ·本章小结第50-51页
第五章 驱动电源实验测试第51-56页
   ·引言第51页
   ·压电陶瓷执行器驱动电源测试系统第51页
   ·驱动电源频率响应的测试第51-52页
   ·阶跃响应测试与分析第52-53页
   ·线性度测试与分析第53-54页
   ·驱动电源功耗的测试第54-55页
   ·本章小结第55-56页
第六章 气体挤压膜悬浮平台实验研究第56-66页
   ·引言第56页
   ·气体挤压膜直线导轨的实验研究第56-59页
     ·气体挤压膜直线悬浮导轨第56-57页
     ·信号发生器的选择第57页
     ·位移传感器的选择第57页
     ·气体挤压膜悬浮实验平台第57-58页
     ·气体挤压膜直线导轨悬浮实验第58-59页
   ·基于超声变幅杆的气体挤压膜悬浮装置实验研究第59-65页
     ·超声变幅杆的设计第59-60页
     ·压电振子的制作第60-61页
     ·超声变幅杆气体挤压膜悬浮实验台第61页
     ·实验结果分析第61-65页
   ·本章小结第65-66页
第七章 总结与展望第66-68页
   ·主要研究内容和总结第66页
   ·后续研究工作的展望第66-68页
参考文献第68-71页
致谢第71-72页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第72页

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