气体挤压膜悬浮平台驱动技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·引言 | 第14-16页 |
| ·压电陶瓷执行器和驱动电源的研究 | 第16-20页 |
| ·压电陶瓷执行器的应用 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的研究 | 第17-20页 |
| ·压电陶瓷驱动电源国内外研究现状 | 第20-21页 |
| ·国内压电陶瓷驱动电源研究现状 | 第20页 |
| ·国外压电陶瓷驱动电源研究现状 | 第20-21页 |
| ·论文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 气体挤压膜理论和压电陶瓷驱动特性 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·气体挤压膜模型的建立 | 第23-25页 |
| ·Navier-Stokes 方程 | 第23-24页 |
| ·直角坐标系 Reynolds 方程 | 第24页 |
| ·气体挤压膜模型 | 第24-25页 |
| ·气体挤压膜特性的分析 | 第25-28页 |
| ·基本模型 | 第25-26页 |
| ·雷诺方程的数值求解 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷的特性 | 第28-32页 |
| ·正压电效应和逆压电效应 | 第28-29页 |
| ·压电振子和谐振特性 | 第29页 |
| ·压电晶体的介电性质 | 第29-31页 |
| ·压电陶瓷的其他特性 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 驱动电源性能分析 | 第33-36页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·驱动电源的频率特性分析 | 第33-34页 |
| ·带宽和转换速率的影响 | 第33-34页 |
| ·容性负载的影响 | 第34页 |
| ·电源驱动电流能力的分析 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 驱动电源的设计 | 第36-51页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·驱动电源参数要求 | 第36页 |
| ·驱动电源设计原理 | 第36-37页 |
| ·驱动电源高压放大级电路设计 | 第37-40页 |
| ·高压集成运放芯片的选择 | 第37页 |
| ·高压放大级辅助电路 | 第37-39页 |
| ·高压放大级电路图 | 第39-40页 |
| ·驱动电源功率放大级设计 | 第40-42页 |
| ·功率放大器的分类 | 第40页 |
| ·功率放大电路的设计原理 | 第40-42页 |
| ·驱动电源电路原理图 | 第42-43页 |
| ·驱动电源稳定性分析 | 第43-47页 |
| ·集成运放对稳定性的影响 | 第43页 |
| ·负反馈对稳定性的影响 | 第43-46页 |
| ·驱动电源旁路对稳定性的影响 | 第46页 |
| ·驱动电源其它因素对稳定性的影响 | 第46-47页 |
| ·驱动电源电路仿真 | 第47-50页 |
| ·驱动电源频率特性的仿真 | 第48-49页 |
| ·驱动电源对阶跃信号的响应 | 第49-50页 |
| ·驱动电源对三角波信号的响应 | 第50页 |
| ·驱动电源的波特图 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 驱动电源实验测试 | 第51-56页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动电源测试系统 | 第51页 |
| ·驱动电源频率响应的测试 | 第51-52页 |
| ·阶跃响应测试与分析 | 第52-53页 |
| ·线性度测试与分析 | 第53-54页 |
| ·驱动电源功耗的测试 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 气体挤压膜悬浮平台实验研究 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·气体挤压膜直线导轨的实验研究 | 第56-59页 |
| ·气体挤压膜直线悬浮导轨 | 第56-57页 |
| ·信号发生器的选择 | 第57页 |
| ·位移传感器的选择 | 第57页 |
| ·气体挤压膜悬浮实验平台 | 第57-58页 |
| ·气体挤压膜直线导轨悬浮实验 | 第58-59页 |
| ·基于超声变幅杆的气体挤压膜悬浮装置实验研究 | 第59-65页 |
| ·超声变幅杆的设计 | 第59-60页 |
| ·压电振子的制作 | 第60-61页 |
| ·超声变幅杆气体挤压膜悬浮实验台 | 第61页 |
| ·实验结果分析 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第七章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·主要研究内容和总结 | 第66页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |