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基于柔性压头的调平技术研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-21页
   ·调平技术的研究现状第10-13页
     ·主动式调平技术第11-12页
     ·被动式调平技术第12-13页
   ·基于柔性结构的调平技术第13-16页
   ·课题研究的背景及意义第16-19页
     ·调平机构应用领域第16-18页
     ·压力分布一致性评价第18-19页
   ·课题的研究目的及主要内容第19-21页
2 柔性调平压头结构设计及优化分析第21-37页
   ·柔性调平压头结构设计第21-23页
     ·柔性铰链变形特性第21-22页
     ·柔性调平压头设计思想第22-23页
   ·柔性调平压头材料选取第23-26页
     ·调平能力第24页
     ·动力学性能第24-26页
   ·柔性部位结构形状优化第26-30页
     ·应力特性分析第26-27页
     ·转动刚度分析第27-28页
     ·固有频率分析第28-30页
   ·柔性部位尺寸优化第30-36页
     ·应力特性分析第30-31页
     ·转动刚度分析第31-33页
     ·固有频率分析第33-36页
   ·本章小结第36-37页
3 柔性压头调平技术的理论研究第37-49页
   ·柔性压头刚度特性研究第38-42页
     ·柔性压头刚度理论计算第38-40页
     ·柔性压头刚度仿真分析第40页
     ·柔性压头刚度一致性研究第40-42页
   ·柔性压头单向调平特性理论研究第42-46页
     ·压力分布一致性评价标准第42-44页
     ·力与压力分布一致性关系研究第44-46页
   ·柔性压头各向调平一致性理论研究第46-48页
     ·各向调平一致性概念第46页
     ·方向与压力分布一致性关系研究第46-48页
   ·小结第48-49页
4 柔性压头调平技术的实验分析第49-61页
   ·实验系统组成第49-50页
   ·柔性压头刚度特性实验第50-52页
     ·刚度一致性实验研究第50-52页
     ·实验误差分析第52页
   ·柔性压头单向调平特性实验分析第52-58页
     ·力与压力分布一致性实验分析第52-55页
     ·压力分布图像处理第55-58页
   ·柔性压头各向调平一致性实验分析第58-60页
   ·小结第60-61页
5 柔性调平压头应用设备研制第61-66页
   ·系统组成及性能指标第61-62页
   ·压力控制系统架构第62-64页
     ·压力控制系统组成第62-63页
     ·压力控制系统原理分析第63-64页
   ·压力控制精度检定实验第64-65页
   ·小结第65-66页
结论第66-68页
参考文献第68-71页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第71-72页
致谢第72-73页

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