相变随机存储器的器件设计与软件实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·相变存储器工作原理 | 第9-11页 |
| ·相变材料的性能 | 第11-14页 |
| ·本课题研究目的和意义 | 第14-16页 |
| 2 基本原理 | 第16-23页 |
| ·相变存储器单元的热传导模型 | 第16-19页 |
| ·有限元基本原理和数值方法 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 3 相变存储单元建模 | 第23-34页 |
| ·等比例缩小原则 | 第23-26页 |
| ·相变存储器器件设计 | 第26-29页 |
| ·相变存储器中侧墙角的建模 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 侧墙角对器件性能影响研究 | 第34-43页 |
| ·固定结构尺寸下侧墙角对器件性能的影响 | 第34-38页 |
| ·不同结构尺寸下侧墙角对器件性能的影响 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 5 相变存储器器件设计软件实现 | 第43-54页 |
| ·物理模型的建立 | 第43-45页 |
| ·软件接口设计 | 第45-49页 |
| ·有限元计算程序理论 | 第49-51页 |
| ·器件设计软件结果分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第61页 |