摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-8页 |
1 绪论 | 第8-12页 |
·渐变折射率薄膜的研究意义 | 第8-9页 |
·渐变折射率薄的研究现状 | 第9-10页 |
·研究内容及论文结构 | 第10-12页 |
2 技术路线及可行性分析 | 第12-16页 |
·技术路线 | 第12-13页 |
·实际样片的获得 | 第13页 |
·实验过程及仿真模拟可行性分析 | 第13-15页 |
·课题方案可行性分析 | 第15-16页 |
3 渐变折射率薄膜分层等效评价 | 第16-34页 |
·均匀薄膜性质 | 第16-20页 |
·均匀薄膜的特征矩阵 | 第16-19页 |
·均匀薄膜的菲涅尔系数递推法 | 第19-20页 |
·渐变折射率薄膜性质 | 第20-25页 |
·渐变折射率薄膜的特征矩阵 | 第21-24页 |
·渐变折射率薄膜的菲涅尔系数递推法 | 第24-25页 |
·渐变折射率薄膜分层等效方法 | 第25-29页 |
·分层方法程序化 | 第29-33页 |
·本章小结 | 第33-34页 |
4 渐变折射率薄膜折射率轮廓的检测及光学常数的评价 | 第34-58页 |
·折射率轮廓参数和反射率的关系 | 第34-36页 |
·渐变折射率薄膜折射率轮廓测试 | 第36-42页 |
·渐变折射率轮廓测量基本理论 | 第37页 |
·实际多层梯度膜的折射率轮廓测量 | 第37-39页 |
·对折射率轮廓的分析与评价 | 第39-42页 |
·程序化测量方法 | 第42-55页 |
·程序化思路 | 第42-43页 |
·优化算法的选择 | 第43-50页 |
·折射率轮廓测量程序流程设计 | 第50-51页 |
·折射率轮廓测量程序平台选择 | 第51-52页 |
·折射率轮廓测量程序编程实现 | 第52-55页 |
·消光系数的评价 | 第55-56页 |
·本章小结 | 第56-58页 |
5 结论 | 第58-60页 |
·结论 | 第58页 |
·展望 | 第58-60页 |
参考文献 | 第60-63页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第63-64页 |
致谢 | 第64-67页 |
附录一 任意线性渐变折射率薄膜分层等效程序 | 第67-72页 |
附录二 粒子群优化法计算折射率轮廓程序设计 | 第72-81页 |