| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·半导体存储器 | 第8-12页 |
| ·相变存储器 | 第12-15页 |
| ·相变存储器的应用 | 第15-16页 |
| ·相变存储器测试方法 | 第16页 |
| ·论文的研究内容及安排 | 第16-18页 |
| 2 微电子器件制备工艺介绍 | 第18-27页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·薄膜制备 | 第18-20页 |
| ·图形转移 | 第20-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 非对称相变存储器单元结构设计及制备工艺研究 | 第27-44页 |
| ·非对称相变存储器单元结构设计 | 第27-33页 |
| ·工艺设备仪器及材料 | 第33-34页 |
| ·制备工艺流程 | 第34-40页 |
| ·实验过程中遇到的问题和分析解决方法 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 非对称相变存储单元性能测试结果与分析 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·相变存储器单元性能测试系统及测试方法 | 第44-46页 |
| ·样品性能测试与结果分析 | 第46-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表论文情况和申请专利 | 第63页 |