| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| ·气敏传感器的传感机理、性能及分类 | 第9-11页 |
| ·微气敏传感器研究现状 | 第11-18页 |
| ·激光微熔覆技术和微笔直写技术 | 第18-20页 |
| ·课题来源、研究内容和技术方案 | 第20-22页 |
| 2 实验方法与设备 | 第22-36页 |
| ·实验设备 | 第22-25页 |
| ·气敏传感器膜材料及其制备方法 | 第25-28页 |
| ·气敏膜性能测试装置的设计与制作 | 第28-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 气敏传感器的制备 | 第36-54页 |
| ·气敏传感器图形设计 | 第36-41页 |
| ·气敏传感器的制备过程 | 第41-50页 |
| ·气敏传感器的封装 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 4 气敏传感器性能测试与分析 | 第54-66页 |
| ·工艺参数对气敏膜性能的影响 | 第54-57页 |
| ·气敏膜的微观分析 | 第57-63页 |
| ·气敏膜性能分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 5 全文结论及建议 | 第66-68页 |
| ·主要结论 | 第66-67页 |
| ·进一步研究的建议 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |