| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景 | 第10页 |
| ·TiAlN 薄膜及其制备技术 | 第10-12页 |
| ·真空电弧离子镀技术 | 第12-18页 |
| ·真空电弧离子镀技术及其发展概述 | 第12-14页 |
| ·真空电弧离子镀技术原理、应用及存在的问题 | 第14-15页 |
| ·过滤电弧离子镀技术简介 | 第15-16页 |
| ·直管磁过滤电弧离子镀技术 | 第16-17页 |
| ·不同偏压模式真空电弧离子镀技术 | 第17-18页 |
| ·选题意义和主要研究内容 | 第18-20页 |
| ·选题意义 | 第18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验设备与方法 | 第20-25页 |
| ·基体试样的制备及处理 | 第20页 |
| ·基体材料的选择及其成分 | 第20页 |
| ·基体试样的准备 | 第20页 |
| ·实验设备 | 第20-21页 |
| ·TiAlN 膜层的制备 | 第21-23页 |
| ·工艺流程 | 第21-22页 |
| ·参数选择 | 第22-23页 |
| ·膜层分析测试方法 | 第23-25页 |
| ·膜层成分与组织结构的分析测试 | 第23-24页 |
| ·膜层性能测试 | 第24-25页 |
| 第3章 Ti/Al 弧流比例对TiAlN 膜层的影响 | 第25-41页 |
| ·成分及组织结构分析 | 第25-31页 |
| ·膜层表面形貌 | 第25-27页 |
| ·膜层截面形貌 | 第27-28页 |
| ·膜层Ti/Al 成分比 | 第28-29页 |
| ·膜层相结构 | 第29-31页 |
| ·机械性能分析 | 第31-36页 |
| ·膜层硬度 | 第31-32页 |
| ·膜基结合力 | 第32-33页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第33-36页 |
| ·电化学腐蚀性能分析 | 第36-39页 |
| ·膜层耐腐蚀性能 | 第36-38页 |
| ·膜层腐蚀机制 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 工作气压对TiAlN 膜层的影响 | 第41-51页 |
| ·成分及组织结构分析 | 第41-46页 |
| ·膜层表面形貌 | 第41-42页 |
| ·膜层截面形貌 | 第42-44页 |
| ·膜层Ti/Al 成分比 | 第44页 |
| ·膜层相结构 | 第44-46页 |
| ·机械性能分析 | 第46-48页 |
| ·膜层硬度 | 第46页 |
| ·膜基结合力 | 第46-47页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第47-48页 |
| ·电化学腐蚀性能分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 偏压模式对TiAlN 膜层的影响 | 第51-69页 |
| ·成分及组织结构分析 | 第51-63页 |
| ·膜层表面形貌 | 第51-56页 |
| ·膜层截面形貌 | 第56-58页 |
| ·膜层Ti/Al 成分比 | 第58-59页 |
| ·膜层相结构 | 第59-63页 |
| ·机械性能分析 | 第63-66页 |
| ·膜层硬度 | 第63-64页 |
| ·膜基结合力 | 第64-65页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第65-66页 |
| ·电化学腐蚀性能分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |