蓝宝石单晶表面生长增强用镁铝尖晶石薄膜研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-19页 |
| ·蓝宝石单晶的制备 | 第10-13页 |
| ·蓝宝石晶体的高温强化 | 第13-19页 |
| ·Mg-Al spinel 的特性 | 第19-20页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 试验材料与研究方法 | 第22-28页 |
| ·实验原材料 | 第22页 |
| ·溶胶凝胶法工艺简介 | 第22-23页 |
| ·磁控溅射工艺简介 | 第23页 |
| ·表征方法 | 第23-27页 |
| ·X射线衍射分析 | 第23-24页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第24-25页 |
| ·原子力显微镜 | 第25页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第25-26页 |
| ·傅立叶变换红外光谱 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 溶胶凝胶法制备MgAl_2O_4薄膜研究 | 第28-49页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第28-32页 |
| ·溶胶凝胶法的特点 | 第28-29页 |
| ·溶胶凝胶法的制膜机理 | 第29-31页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜的方法 | 第31-32页 |
| ·样品的制品过程 | 第32-34页 |
| ·实验设备 | 第33页 |
| ·衬底清洗及干燥 | 第33页 |
| ·溶胶的配制及镀膜 | 第33页 |
| ·热处理 | 第33-34页 |
| ·MgO薄膜的组织结构分析 | 第34-42页 |
| ·X射线衍射结果分析 | 第35-37页 |
| ·原子力显微镜结果分析(AFM) | 第37-39页 |
| ·X射线光电子能谱分析(XPS) | 第39-41页 |
| ·扫描电子显微镜结果分析(SEM) | 第41-42页 |
| ·MgAl_2O_4薄膜的组织结构分析 | 第42-46页 |
| ·薄膜X射线衍射分析 | 第43-44页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第44-45页 |
| ·薄膜断面分析 | 第45-46页 |
| ·镀MgAl_2O_4薄膜后蓝宝石的红外光学性能 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 磁控溅射法制备MgAl_2O_4薄膜研究 | 第49-70页 |
| ·磁控溅射法 | 第49-54页 |
| ·磁控溅射法基本原理 | 第49-52页 |
| ·实验装置 | 第52页 |
| ·工艺参数的选择 | 第52-53页 |
| ·工艺流程 | 第53-54页 |
| ·Mg薄膜实验结果与分析 | 第54-57页 |
| ·Mg薄膜的X射线衍射分析 | 第54-56页 |
| ·Mg薄膜的扫描电子显微镜结果分析 | 第56-57页 |
| ·MgAl_2O_4薄膜实验结果与分析 | 第57-68页 |
| ·MgAl_2O_4薄膜的X射线衍射分析 | 第58-62页 |
| ·MgAl_2O_4薄膜表面形貌分析 | 第62-63页 |
| ·MgAl_2O_4薄膜断面SEM分析 | 第63-68页 |
| ·镀MgAl_2O_4薄膜后蓝宝石的红外光学性能 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
