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基于单向离焦的差动像散监测实验装置

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-16页
   ·课题背景第8-9页
     ·课题来源第8页
     ·研究目的和意义第8-9页
   ·离焦误差检测技术简介第9-10页
   ·离焦误差检测技术国内外发展现状第10-15页
     ·临界角法第10-12页
     ·傅科刀口法第12-13页
     ·像散法第13-14页
     ·针孔调焦法第14-15页
   ·本课题的主要研究内容第15-16页
第2章 离焦检测原理与总体设计第16-32页
   ·引言第16页
   ·激光差动像散法离焦检测原理第16-24页
     ·光学像散法基本原理第16-20页
     ·差动像散法离焦检测原理第20-24页
   ·离焦检测系统总体设计第24-31页
     ·基于单向离焦的差动像散原理第24-26页
     ·基于单向离焦的差动像散特性分析与仿真第26-29页
     ·离焦检测光电探测接收系统设计第29-31页
   ·本章小结第31-32页
第3章 离焦检测误差分析第32-39页
   ·引言第32页
   ·光学参数对基于单向离焦的差动像散监测装置的影响第32-36页
     ·光源输出功率波动的影响第32页
     ·光学参数误差的影响第32-34页
     ·光学元件调整误差的影响第34-36页
   ·光电探测接收电路对离焦检测系统的影响第36-37页
   ·离焦检测系统的其他影响因素第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第4章 离焦检测系统软件设计第39-45页
   ·引言第39页
   ·测量系统软件整体设计第39页
   ·测量系统软件各模块实现第39-44页
     ·人机界面设计第39-41页
     ·数据采集模块设计第41-42页
     ·中值滤波模块设计第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第5章 装置实验及数据分析第45-56页
   ·引言第45页
   ·基于单向离焦的差动像散实验验证第45-53页
     ·实验装置第45-47页
     ·基于单向离焦的差动像散原理验证实验步骤与方法第47-49页
     ·实验结论与分析第49-53页
   ·与差动像散法离焦检测技术灵敏度的比较实验第53-55页
     ·灵敏度比较实验步骤与方法第53页
     ·实验结论与分析第53-55页
   ·本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-60页
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明第60页
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书第60页
哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理第60-61页
致谢第61页

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