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N和Al共掺杂TiO2薄膜的制备及性能研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
目录第9-14页
CONTENTS第14-19页
第一章 绪论第19-37页
   ·二氧化钛的基本性质第19-21页
   ·TiO_2薄膜制备方法第21-25页
     ·溶胶-凝胶法第21-22页
     ·TiO_2薄膜的物理气相沉积制备方法第22-25页
   ·TiO_2的可见光催化研究第25-30页
     ·非金属掺杂第25-27页
     ·金属离子掺杂第27页
     ·金属/非金属共掺杂第27-29页
     ·染料敏化第29-30页
     ·复合半导体第30页
   ·半导体光催化的应用第30-31页
   ·影响纳米TiO_2薄膜结构的工艺参数第31-34页
     ·基体温度对纳米TiO_2薄膜晶体结构的影响第31-32页
     ·氧分压对纳米TiO_2薄膜晶体结构的影响第32页
     ·退火温度对纳米TiO_2薄膜晶体结构的影响第32-33页
     ·基片种类对纳米TiO_2薄膜晶体结构的影响第33页
     ·掺杂对纳米TiO_2薄膜结构的影响第33-34页
   ·本文的研究背景及研究意义第34-35页
   ·本文主要研究内容第35-37页
第二章 实验方法及检测仪器第37-45页
   ·实验设备与主要化学试剂第37-41页
     ·镀膜设备第37-40页
     ·其他仪器设备第40页
     ·基体材料及化学试剂第40-41页
   ·实验方法第41-42页
     ·基片清洗第41-42页
     ·制备薄膜操作步骤第42页
   ·薄膜结构与性能表征方法第42页
   ·TiO_2薄膜的光催化实验与活性验证第42-44页
     ·光催化剂性能测试第42-43页
     ·光催化活性的测定第43页
     ·抗菌性能测试第43-44页
   ·本章小结第44-45页
第三章 掺杂TiO_2的电子结构第45-62页
   ·第一性原理第45-52页
     ·密度泛函理论基础第46-49页
     ·交换关联能泛函第49-51页
     ·平面波赝势方法第51-52页
   ·计算模型和方法第52-53页
     ·锐钛矿TiO_2晶体结构第52页
     ·掺杂TiO_2的计算结构模型第52页
     ·计算参数设置第52-53页
   ·掺杂元素对TiO_2电子结构的影响第53-61页
     ·掺杂元素对TiO_2晶体结构的影响第53-54页
     ·N掺杂对TiO_2电子结构的影响第54-56页
     ·Al掺杂对TiO_2电子结构的影响第56-58页
     ·N和Al共掺杂对TiO_2电子结构的影响第58-61页
   ·本章小结第61-62页
第四章 真空电弧法沉积TiO_2薄膜及工艺优化第62-81页
   ·纯TiO_2薄膜的制备工艺第62-63页
   ·工艺参数对TiO_2薄膜结构和性能的影响第63-79页
     ·氧分压对纯TiO_2薄膜显微组织结构和性能影响第64-69页
     ·沉积时间对TiO_2薄膜显微组织结构和性能影响第69-73页
     ·离子束辅助对TiO_2薄膜显微组织结构和性能的影响第73-76页
     ·退火温度对TiO_2薄膜显微组织结构和性能的影响第76-79页
   ·本章小结第79-81页
第五章 N掺杂TiO_2薄膜制备及可见光催化活性第81-102页
   ·氧氮比对N掺杂TiO_2薄膜显微组织结构和性能的影响第81-87页
     ·试样的制备第81页
     ·氧氮比对N掺杂TiO_2薄膜的相组成的影响第81-82页
     ·N掺杂TiO_2薄膜表面化学组成分析第82-84页
     ·氧氮比对N掺杂TiO_2薄膜表面形貌的影响第84-85页
     ·氧氮比对N掺杂TiO_2薄膜的UV-Vis光学性能的影响第85-86页
     ·氧氮比对N掺杂TiO_2薄膜可见光催化活性的影响第86-87页
   ·沉积时间对N掺杂TiO_2薄膜显微组织结构和性能的影响第87-91页
     ·试样的制备第87页
     ·沉积时间对N掺杂TiO_2薄膜相组成的影响第87-88页
     ·沉积时间对N掺杂TiO_2薄膜表面形貌的影响第88-89页
     ·沉积时间对N掺杂TiO_2薄膜UV-Vis光学性能的影响第89-90页
     ·沉积时间对N掺杂TiO_2薄膜可见光催化活性的影响第90-91页
   ·离子束辅助对N掺杂TiO_2膜显微组织结构和性能影响第91-97页
     ·试样的制备第91页
     ·离子束辅助对N掺杂TiO_2薄膜相组成的影响第91-92页
     ·离子束辅助对N掺杂TiO_2薄膜表面化学组成分析第92-93页
     ·离子束辅助对N掺杂TiO_2薄膜表面形貌的影响第93-95页
     ·离子束辅助沉积对N掺杂TiO_2膜UV-Vis光学性能的影响第95-96页
     ·离子束辅助沉积对N掺杂TiO_2薄膜可见光催化活性的影响第96-97页
   ·退火处理对N掺杂TiO_2薄膜显微组织结构和性能的影响第97-100页
     ·试样的制备第97页
     ·退火温度对N掺杂TiO_2薄膜的相组成的影响第97-98页
     ·退火温度对N掺杂TiO_2薄膜UV-Vis光学性能的影响第98页
     ·退火温度对N掺杂TiO_2薄膜可见光催化活性的影响第98-99页
     ·不同光源下N掺杂TiO_2薄膜光催化活性比较第99-100页
   ·本章小结第100-102页
第六章 N和Al共掺杂TiO_2薄膜制备及光催化活性第102-133页
   ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜显微组织结构和性能影响第102-112页
     ·试样制备第102页
     ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜相组成的影响第102-103页
     ·N和Al共掺杂TiO_2薄膜表面化学组成分析第103-106页
     ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜微观形貌的影响第106-109页
     ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜的UV-Vis光学性能的影响第109-110页
     ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜光催化活性的影响第110-112页
   ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2膜显微组织结构和性能影响第112-116页
     ·试样制备第112页
     ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜相组成的影响第112页
     ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜表面形貌的影响第112-114页
     ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜UV-Vis光学性能的影响第114-115页
     ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜光催化活性的影响第115-116页
   ·退火处理对N和Al共掺杂TiO_2薄膜显微组织结构和性能影响第116-122页
     ·试样退火处理第117页
     ·退火温度对N和Al共掺杂TiO_2薄膜相组成的影响第117-118页
     ·退火温度对N和Al共掺杂TiO_2薄膜表面形貌的影响第118-120页
     ·退火温度对N和Al共掺杂TiO_2薄膜的UV-Vis光学性能的影响第120页
     ·退火温度对N和Al共掺杂TiO_2薄膜光催化活性的影响第120-122页
   ·N和Al共掺杂TiO_2薄膜光催化影响机制研究第122-131页
     ·N和Al共掺杂TiO_2方法的特色第122-125页
     ·晶型分析第125-126页
     ·紫外-可见光谱第126-127页
     ·光催化活性第127-128页
     ·光催化降解反应动力学模型的提出及验证第128-131页
   ·本章小结第131-133页
第七章 掺杂TiO_2薄膜的抗菌性能第133-149页
   ·实验材料及仪器第133-135页
     ·实验样品第133页
     ·实验菌种第133页
     ·培养基第133页
     ·实验仪器第133-134页
     ·实验方法第134-135页
   ·纯TiO_2薄膜的抗菌性能第135-139页
     ·氧分压对纯TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第135-136页
     ·沉积时间对纯TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第136页
     ·离子束流对纯TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第136-137页
     ·退火温度对纯TiO_2薄膜的抗菌性能影响第137-138页
     ·光照时间对纯TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第138-139页
   ·N掺杂TiO_2薄膜的抗菌性能第139-144页
     ·氧氮比对TiO(2_x)N_x薄膜抗菌效率的影响第139页
     ·沉积时间对TiO_(2-x)N_x薄膜的抗菌性能的影响第139-140页
     ·退火温度对TiO_(2-x)N_x薄膜的抗菌性能影响第140-141页
     ·光照时间对TiO_(2-x)N_x薄膜的抗菌性能的影响第141-142页
     ·离子束辅助沉积纳米TiO_(2-x)N_x薄膜的抗菌性能第142-144页
   ·N和Al共掺杂TiO_2薄膜的抗菌性能第144-148页
     ·氧氮比对N和Al共掺杂TiO_2薄膜抗菌效率的影响第144-145页
     ·沉积时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第145-146页
     ·退火温度对N和Al共掺杂TiO_2薄膜的抗菌性能的影响第146-147页
     ·光照时间对N和Al共掺杂TiO_2薄膜抗菌效率的影响第147页
     ·不同掺杂TiO_2薄膜的抗菌率比较第147-148页
   ·本章小结第148-149页
结论与展望第149-151页
本论文的研究特色与创新第151-152页
参考文献第152-163页
攻读博士学位期间发表的论文第163-164页
攻读博士学位期间参加的研究课题第164-166页
致谢第166页

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