压电驱动微工作台的控制与校正技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪 论 | 第8-16页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第8页 |
| ·微定位系统组成 | 第8-13页 |
| ·微定位机构 | 第9-12页 |
| ·检测装置及控制系统 | 第12-13页 |
| ·压电驱动微工作台的控制技术研究现状 | 第13-15页 |
| ·本文研究主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器特性研究 | 第16-28页 |
| ·微定位控制实验系统的总体构成 | 第16-22页 |
| ·微位移机构组成 | 第17-18页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第18-20页 |
| ·检测装置的选择 | 第20-21页 |
| ·A/D 数据采集卡的选取 | 第21页 |
| ·系统测试 | 第21-22页 |
| ·压电陶瓷驱动器工作原理 | 第22页 |
| ·压电陶瓷驱动器特性分析 | 第22-27页 |
| ·迟滞特性 | 第23-24页 |
| ·蠕变特性 | 第24-25页 |
| ·非线性特性 | 第25-26页 |
| ·温度特性 | 第26-27页 |
| ·负载特性 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 神经网络原理与应用 | 第28-39页 |
| ·神经网络原理与应用 | 第28-31页 |
| ·单神经元数学模型 | 第28-29页 |
| ·几种典型的学习规则 | 第29-31页 |
| ·BP 神经网络的结构及算法 | 第31-36页 |
| ·基于神经网络的系统辨识 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 压电陶瓷微位移系统控制算法的研究 | 第39-55页 |
| ·PID 控制系统 | 第39-42页 |
| ·PID 控制原理 | 第39-41页 |
| ·P1D 控制器参数的整定方法 | 第41-42页 |
| ·基于BP 神经网络的PID 控制 | 第42-51页 |
| ·神经网络自学习PID 控制器 | 第43-47页 |
| ·神经网络辨识器 | 第47-51页 |
| ·改进型BP 神经网络参数自学习PID 控制器 | 第51-52页 |
| ·改进后控制器的结构形式及控制算法 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-55页 |
| 第5章 系统的实验研究和误差分析 | 第55-62页 |
| ·微位移工作台的开环特性实验 | 第55-57页 |
| ·微位移工作台的开环静态特性实验 | 第55-56页 |
| ·微位移工作台的开环动态特性实验 | 第56-57页 |
| ·数字PID 闭环控制 | 第57-58页 |
| ·神经网络闭环控制 | 第58-61页 |
| ·神经网络控制算法在线训练 | 第58-59页 |
| ·微位移闭环系统动态特性实验 | 第59-60页 |
| ·微位移闭环系统静态特性实验 | 第60-61页 |
| ·误差分析 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
