纳秒激光诱导若干金属材料微结构及其应用研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-56页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·DPSSL的发展 | 第13-19页 |
| ·DPSSL的发展历史 | 第13-14页 |
| ·DPSSL的主要特点 | 第14-16页 |
| ·DPSSL的耦合方式 | 第16-19页 |
| ·激光微加工发展概况 | 第19-27页 |
| ·激光精密打孔 | 第19-20页 |
| ·激光精密微机械制作 | 第20-21页 |
| ·激光精密切割 | 第21-22页 |
| ·激光精密焊接 | 第22-23页 |
| ·微光栅制作 | 第23-24页 |
| ·薄膜激光转写 | 第24-25页 |
| ·光波导形成 | 第25-26页 |
| ·材料表面处理 | 第26-27页 |
| ·DPSSL的应用领域 | 第27-31页 |
| ·材料加工 | 第27-29页 |
| ·同位素分离 | 第29-30页 |
| ·激光核聚变 | 第30页 |
| ·光谱学和声光探测的应用 | 第30-31页 |
| ·科学研究 | 第31页 |
| ·纳秒激光对材料的的表面烧蚀 | 第31-43页 |
| ·影响材料损伤阈值的因素 | 第31-34页 |
| ·材料损伤阈值的探测方法 | 第34-38页 |
| ·激光对材料破坏的机理研究 | 第38-43页 |
| ·本文的主要内容与创新点 | 第43-46页 |
| ·本论文的主要内容 | 第43-45页 |
| ·主要创新点 | 第45-46页 |
| 第一章参考文献 | 第46-56页 |
| 第二章 纳秒激光加工机理研究 | 第56-79页 |
| ·理论模型的建立 | 第57-58页 |
| ·温度场理论模型建立 | 第58-63页 |
| ·激光能量在样品内部分布 | 第58页 |
| ·热传导方程 | 第58-59页 |
| ·样品表面发生熔融前的温度分布规律 | 第59-60页 |
| ·样品表面发生熔融后的温度分布规律 | 第60-63页 |
| ·损伤阈值及刻蚀深度 | 第63-67页 |
| ·材料的损伤阈值 | 第63-65页 |
| ·材料的刻蚀深度 | 第65-67页 |
| ·理论计算结果 | 第67-74页 |
| ·镜面铜的模拟计算结果 | 第68-70页 |
| ·镍和钛的模拟计算结果 | 第70-72页 |
| ·材料损伤阈值与脉冲数目的关系 | 第72-73页 |
| ·单脉冲刻蚀深度与激光能量的模拟计算 | 第73-74页 |
| ·多脉冲刻蚀深度与脉冲数目的模拟计算 | 第74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第二章参考文献 | 第76-79页 |
| 第三章 单光束激光烧蚀研究 | 第79-103页 |
| ·系统组成 | 第79-81页 |
| ·实验材料及实验方法 | 第81-84页 |
| ·实验步骤 | 第81-84页 |
| ·单脉冲烧蚀实验 | 第84页 |
| ·多脉冲烧蚀实验 | 第84页 |
| ·实验结果 | 第84-90页 |
| ·烧蚀形貌的测量 | 第84-86页 |
| ·损伤阈值的测量 | 第86-89页 |
| ·烧蚀深度的测量 | 第89-90页 |
| ·多脉冲制作导光板膜仁 | 第90-98页 |
| ·导光板设计方法 | 第91-94页 |
| ·导光板制作方法 | 第94页 |
| ·微锥型导光板 | 第94-96页 |
| ·导光效果测量 | 第96-98页 |
| ·本章小结 | 第98-100页 |
| 第三章参考文献 | 第100-103页 |
| 第四章 纳秒激光干涉光刻的实验研究 | 第103-129页 |
| ·实验装置 | 第103-105页 |
| ·激光干涉刻蚀实验结果 | 第105-111页 |
| ·玻璃基质铬膜刻蚀微光栅结构的实验研究 | 第105-108页 |
| ·镀铬镜面不锈钢表面刻蚀微光栅结构的实验研究 | 第108-110页 |
| ·镍板的激光刻蚀微光栅结构的实验 | 第110页 |
| ·四光束激光干涉刻蚀实验 | 第110-111页 |
| ·激光刻蚀参数对微光栅结构的影响 | 第111-116页 |
| ·激光能量对微光栅刻蚀槽深的影响 | 第112-113页 |
| ·激光能量对微光栅刻蚀占宽比的影响 | 第113页 |
| ·脉冲数目对微光栅刻蚀槽深的影响 | 第113-114页 |
| ·脉冲数目对微光栅刻蚀占宽比的影响 | 第114-115页 |
| ·光栅周期对微结构槽深的影响 | 第115-116页 |
| ·光束口径对微光栅槽深的影响 | 第116页 |
| ·微光栅结构衍射效率测量 | 第116-123页 |
| ·玻璃基质铬膜表面微光栅衍射效率 | 第117-118页 |
| ·镍板表面微光栅衍射效率的测量 | 第118-119页 |
| ·微光栅衍射光谱效率检测 | 第119-123页 |
| ·微光栅点阵的应用 | 第123-125页 |
| ·本章小结 | 第125-126页 |
| 第四章参考文献 | 第126-129页 |
| 第五章 总结与展望 | 第129-131页 |
| ·总结 | 第129-130页 |
| ·展望 | 第130-131页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 详细摘要 | 第133-137页 |
