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场发射阵列薄膜设计及技术研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-18页
   ·场发射的发展历史第9-11页
   ·场发射应用现状第11-14页
     ·场发射平板显示第11-12页
     ·微波器件第12-13页
     ·场发射传感器第13-14页
   ·场发射研究的意义第14-16页
     ·场致发射的优越性第14-15页
     ·场致发射研究的目的与意义第15-16页
   ·论文的选题及主要工作第16-18页
第二章 引入表面态的场发射理论第18-34页
   ·场发射的基本理论第18-22页
     ·外场对逸出功的影响----肖特基效应第18-19页
     ·场发射方程----福勒-诺德海姆公式第19-22页
   ·表面态的基本理论第22-29页
     ·晶体电子结构和Bloch波函数第22-23页
     ·Tamm对表面电子结构的证明第23-26页
     ·一维半无限晶体的表面态第26-28页
     ·理想量子膜的电子态第28-29页
   ·场发射薄膜材料中的表面态理论第29-33页
   ·引入表面态场发射分析与讨论第33-34页
第三章 场发射薄膜材料能带计算第34-42页
   ·材料计算的基本理论第34-38页
   ·六硼化镧能带结构的计算第38-39页
   ·相关硼化镧能带电子结构计算第39-42页
第四章 场发射数值模拟第42-59页
   ·数值计算的基本理论第42-45页
     ·基本计算方程第42-43页
     ·计算模型及边界条件第43-44页
     ·有限差分算法第44-45页
   ·场发射计算的基本过程第45-46页
   ·场发射三级管结构模拟第46-52页
     ·物理模型第46-47页
     ·数值模拟结果及分析第47-52页
     ·结论第52页
   ·四种多级场发射结构模拟第52-59页
     ·四种结构模型的建立与计算第52-56页
     ·四种结构模型的计算结果与讨论第56-59页
第五章 场发射阵列的制备及性能分析第59-71页
   ·氧化削尖场发射阵列的制备第59-61页
     ·氧化削尖制备场发射阵列第59-60页
     ·敷膜氧化削尖制备场发射阵列及测试第60-61页
   ·大面积发射阵列的制备及测试第61-62页
   ·在大面积场发射阵列上沉积硼化镧薄膜第62-66页
   ·薄膜场发射阵列的测试及分析第66-71页
第六章 场发射总结与展望第71-73页
   ·本文的工作总结第71-72页
   ·工作展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
攻读硕士期间取得的研究成果第79页

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