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Cs-K离子交换结合离子注入技术制备磷酸钛氧钾晶体光波导的研究

中文摘要第1-13页
ABSTRACT第13-17页
符号说明第17-18页
第一章 绪论第18-34页
   ·KTP晶体的简介第18-20页
   ·KTP晶体光波导的研究现状第20-25页
   ·本论文的主要内容和结构第25-28页
 参考文献第28-34页
第二章 光波导理论介绍第34-54页
   ·波导的结构类型第35-37页
   ·平面波导的线光学理论第37-42页
   ·平面波导的电磁波理论第42-49页
   ·条形光波导电磁场模式的近似分析第49-53页
 参考文献第53-54页
第三章 实验方法第54-76页
   ·波导制备方法第55-59页
   ·波导的分析与测试方法第59-67页
   ·平面波导折射率的拟合方法第67-74页
 参考文献第74-76页
第四章 Cs-K离子交换制备KTP平面波导的研究第76-104页
   ·Cs-K离子交换制备KTP平面波导的实验过程第77-78页
   ·交换时间对Cs-K离子交换KTP波导性能的影响第78-85页
   ·交换温度对Cs-K离子交换KTP波导性能的影响第85-88页
   ·单模波导的折射率分布的椭偏研究第88-96页
   ·退火对Cs-K离子交换KTP波导性能的影响第96-102页
   ·本章总结第102-103页
  参考文献第103-104页
第五章 离子注入对Cs-K离子交换KTP波导的影响第104-128页
   ·Cu离子注入对Cs-K离子交换波导的影响第105-114页
   ·H离子注入对Cs-K离子交换波导的影响第114-120页
   ·C离子注入对Cs-K离子交换波导的影响第120-126页
   ·本章总结第126-127页
 参考文献第127-128页
第六章 离子交换和离子注入KTP晶体埋层波导的研究第128-140页
   ·埋层波导的制备方法简介第129-132页
   ·Cs离子交换和Si离子注入相结合制备埋层波导的研究第132-137页
   ·本章总结第137-138页
 参考文献第138-140页
第七章 离子交换制备KTP条形波导的研究第140-162页
   ·光刻掩膜技术第141-144页
   ·离子交换制备KTP条形波导的研究第144-155页
   ·离子交换KTP条形波导的选择性刻蚀研究第155-159页
   ·本章总结第159-160页
 参考文献第160-162页
第八章 总结第162-166页
   ·主要结果第163-165页
   ·主要创新点第165-166页
致谢第166-168页
攻读博士学位期间参与的项目和发表的论文第168-172页
附:英文论文第172-182页
学位论文评阅及答辩情况表第182页

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