| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| ·太阳能电池的发展概况 | 第7-9页 |
| ·纳米硅薄膜太阳电池的结构特点及其优势 | 第9-12页 |
| ·纳米材料和纳米硅薄膜的研究进展 | 第12-13页 |
| ·纳米硅薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·课题来源及本文主要工作 | 第17-18页 |
| 2 纳米硅薄膜的基本特性 | 第18-26页 |
| ·纳米材料的量子特性 | 第18-20页 |
| ·纳米硅薄膜的光电特性 | 第20-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 3 射频磁控溅射纳米硅薄膜的制备 | 第26-37页 |
| ·射频磁控溅射的原理和优势 | 第26-28页 |
| ·成膜机理 | 第28-30页 |
| ·射频磁控溅射纳米硅薄膜工艺研究 | 第30-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 4 纳米硅薄膜的性能测试及表征 | 第37-58页 |
| ·纳米硅薄膜的微结构分析 | 第37-46页 |
| ·傅立叶红外吸收谱分析（FTIR） | 第46-49页 |
| ·紫外－可见光吸收谱分析 | 第49-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 5 总结及展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |