超高速光电导开关微纳加工方法的研究

中文摘要	第1-3页
英文摘要	第3-6页
第一章 绪论	第6-14页
·纳米加工技术	第6-8页
·光电导开关的发展和研究现状	第8-12页
·本文的主要研究工作	第12-14页
第二章 AFM阳极氧化加工的研究	第14-31页
·针尖诱导阳极氧化加工的发展现状	第14-15页
·AFM针尖诱导阳极氧化加工的机理	第15-16页
·基于原子力显微镜阳极氧化的加工系统	第16-19页
·AFM阳极氧化加工影响因素的研究	第19-26页
·AFM阳极氧化结果的分析	第26-31页
第三章 超高速线性光电导开关理论研究	第31-44页
·光电导开关的基本原理	第31页
·光电导开关的工作模式	第31-33页
·光电导开关衬底材料的选择	第33-34页
·光电导开关的基本结构	第34-35页
·超高速光电导开关的传输线	第35-36页
·超高速线性光电导开关输出特性的理论计算	第36-41页
·超快线性光电导开关的频谱分析	第41-44页
第四章 超高速光电导开关的设计和特性测试	第44-53页
·光电导开关的设计版图	第44-45页
·光电导开关的加工流程	第45-50页
·超光导开光基本特性的性能测试	第50-53页
第五章 隧道结隧穿现象的研究	第53-63页
·隧道结的发展	第53-54页
·隧道结的基本工作原理	第54-59页
·针尖与样品形成的隧道结	第59-60页
·MIM隧道结的研究	第60-63页
第六章 结论和展望	第63-65页
参考文献	第65-72页
硕士期间发表论文和科研情况	第72-73页
致谢	第73页