| 研究成果声明 | 第1页 |
| 关于学位论文使用权的说明 | 第3-4页 |
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·RF MEMS简介 | 第8-13页 |
| ·RF MEMS开关的研究意义 | 第13-17页 |
| ·RFMEMS开关的研究现状 | 第17-21页 |
| ·研究历史、现状和发展趋势 | 第17-18页 |
| ·国内和国外的研究情况 | 第18-21页 |
| ·本论文的主要工作 | 第21-23页 |
| ·本论文的主要目标 | 第21页 |
| ·本论文的主要任务 | 第21-23页 |
| 第二章 RF MEMS开关的理论分析 | 第23-29页 |
| ·RF MEMS开关的介绍 | 第23-24页 |
| ·电容式RF-MEMS开关的工作原理 | 第24-26页 |
| ·接触式RF-MEMS开关的工作原理 | 第26-28页 |
| ·两端固定“桥”式RF-MEMS开关的工作原理 | 第26-27页 |
| ·“悬臂梁”式RF-MEMS开关的工作原理 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 RF MEMS开关的机械-电磁模型 | 第29-48页 |
| ·RF MEMS开关的机械模型 | 第29-38页 |
| ·两端固定梁的弹性系数 | 第29-34页 |
| ·弹性系数k小的梁 | 第34-35页 |
| ·悬臂梁的弹性系数 | 第35-37页 |
| ·RF MEMS开关的驱动电压 | 第37-38页 |
| ·RF MEMS开关的电磁模型 | 第38-46页 |
| ·金属梁的阻尼系数/品质因数Q | 第38-39页 |
| ·RF MEMS开关的电容值 | 第39-43页 |
| ·RF MEMS开关的电感 | 第43-44页 |
| ·RF MEMS开关电阻 | 第44-45页 |
| ·RF MEMS开关的损耗(LOSS) | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 RF MEMS开关的优化设计及工艺制备 | 第48-66页 |
| ·优化设计 | 第48-56页 |
| ·微波考虑 | 第48页 |
| ·材料考虑 | 第48-50页 |
| ·机械考虑 | 第50页 |
| ·工艺选取 | 第50-56页 |
| ·开关的制作工艺 | 第56-65页 |
| ·电容式RF MEMS开关的制作 | 第56-61页 |
| ·接触式RF MEMS开关的制作 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 RF MEMS开关的性能测试与数值模拟分析 | 第66-84页 |
| ·RF MEMS开关测试前的准备 | 第66-67页 |
| ·测试系统的建立 | 第66页 |
| ·RF MEMS开关的封装 | 第66-67页 |
| ·电容式RF MEMS开关的性能分析 | 第67-74页 |
| ·普通电容式RF MEMS开关的性能分析 | 第67-68页 |
| ·串联电容式RF MEMS开关的性能分析 | 第68-72页 |
| ·多电极电容式RF MEMS开关的性能分析 | 第72-74页 |
| ·接触式RF MEMS开关的性能分析 | 第74-82页 |
| ·悬臂梁式RF MEMS开关的性能分析 | 第74-81页 |
| ·两端固定“桥”式RF MEMS开关的性能分析 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第六章 结论 | 第84-87页 |
| ·论文的主要内容 | 第84-85页 |
| ·论文的创新点 | 第85-86页 |
| ·下一步工作设想 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-98页 |
| 致谢 | 第98页 |