扭臂结构的MEMS静电微驱动器的特性研究
| 第一章 绪论 | 第1-31页 |
| ·引言 | 第9-12页 |
| ·MEMS 的定义 | 第9-10页 |
| ·MEMS 的发展过程 | 第10-12页 |
| ·MEMS 的特点和应用领域 | 第12-15页 |
| ·MEMS 的特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS 的应用领域 | 第13-15页 |
| ·MEMS 的国内外发展概况 | 第15-19页 |
| ·各国对MEMS 的研究简介 | 第15-17页 |
| ·MEMS 的研究实例 | 第17-19页 |
| ·MEMS 微驱动器 | 第19-23页 |
| ·电磁驱动方式 | 第20页 |
| ·压电驱动方式 | 第20-21页 |
| ·热驱动方式 | 第21-22页 |
| ·形状记忆合金 | 第22-23页 |
| ·静电微驱动器 | 第23-27页 |
| ·梳状电极结构 | 第23-24页 |
| ·划痕驱动(SDA)结构 | 第24页 |
| ·平行板电容结构 | 第24-26页 |
| ·与本文相关的研究进展 | 第26-27页 |
| ·本文的主要内容及创新点 | 第27-31页 |
| 第二章 微驱动器模型的分析方法 | 第31-51页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·结构模型及工作原理 | 第32-35页 |
| ·有限元(FEM)模态分析 | 第35-39页 |
| ·扭臂的扭转模态分析 | 第39-45页 |
| ·静电力矩 | 第39-40页 |
| ·扭转的恢复力矩 | 第40-44页 |
| ·扭臂扭转的计算结果 | 第44-45页 |
| ·扭臂的弯曲模态分析 | 第45-50页 |
| ·扭臂弯曲的近似微分方程 | 第45-47页 |
| ·微分方程的求解 | 第47-49页 |
| ·扭臂弯曲的计算结果 | 第49-50页 |
| ·微驱动器的运动模式 | 第50-51页 |
| 第三章 微驱动器的静态特性分析 | 第51-69页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·静态特性 | 第52-53页 |
| ·有限元(FEM)的力电耦合分析 | 第53-56页 |
| ·静态 Pull-in 现象 | 第56-61页 |
| ·几何结构参数对静态 Pull-in 电压的影响 | 第61-64页 |
| ·静态特性分析的软件实现 | 第64-68页 |
| ·小结 | 第68-69页 |
| 第四章 微驱动器的动态特性分析 | 第69-91页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·力矩分析 | 第70-76页 |
| ·重力力矩 | 第70页 |
| ·空气阻尼效应 | 第70-76页 |
| ·扭转动力学原理 | 第76-77页 |
| ·无空气阻尼的动态分析 | 第77-82页 |
| ·Switch-Off 过程 | 第77-80页 |
| ·Switch-On 过程 | 第80-82页 |
| ·考虑空气阻尼的动态分析 | 第82-89页 |
| ·Switch-Off 过程 | 第83-87页 |
| ·Switch-On 过程 | 第87-89页 |
| ·小结 | 第89-91页 |
| 第五章 器件制作和光学测量方案 | 第91-109页 |
| ·引言 | 第91-92页 |
| ·器件制作 | 第92-99页 |
| ·基本制作工艺介绍 | 第92-98页 |
| ·微驱动器的制作工艺简介 | 第98-99页 |
| ·CCD 光学测量方案 | 第99-105页 |
| ·实验装置介绍 | 第99-100页 |
| ·几何光路的计算分析及讨论 | 第100-105页 |
| ·测量结果讨论 | 第105-107页 |
| ·工作展望 | 第107-108页 |
| ·小结 | 第108-109页 |
| 第六章 结论 | 第109-112页 |
| 参考文献 | 第112-127页 |
| 致谢 | 第127-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和参加的项目 | 第128-131页 |
| 摘要 | 第131-134页 |
| ABSTRACT | 第134-137页 |
