| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·国内外发展现状及发展方向 | 第12-15页 |
| ·气体传感器国外发展现状 | 第12-13页 |
| ·气体传感器国内发展现状 | 第13-15页 |
| ·气体传感器发展方向 | 第15页 |
| ·研究内容与结构安排 | 第15-17页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| ·结构安排 | 第16-17页 |
| 第2章 气体传感器基础理论 | 第17-31页 |
| ·气体传感器的分类及原理 | 第17-25页 |
| ·电化学类气体传感器 | 第17-19页 |
| ·光学类气体传感器 | 第19-20页 |
| ·频率类气体传感器 | 第20-21页 |
| ·电学类气体传感器 | 第21-25页 |
| ·气体传感器的性能指标 | 第25-27页 |
| ·响应时间 | 第25-26页 |
| ·灵敏度 | 第26页 |
| ·线性度 | 第26-27页 |
| ·选择性 | 第27页 |
| ·提高半导体气体传感器性能的途径 | 第27-30页 |
| ·添加催化剂 | 第27-28页 |
| ·控制材料的微细结构 | 第28-29页 |
| ·控制元件的工作温度 | 第29页 |
| ·使用过滤设备 | 第29-30页 |
| ·优化基体表面结构 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 MEMS技术及半导体气敏元件的器件结构 | 第31-36页 |
| ·MEMS技术 | 第31-35页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第31-32页 |
| ·体微机械加工技术 | 第32-34页 |
| ·LIGA技术 | 第34-35页 |
| ·半导气敏元件的器件结构 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 新型电阻式半导体气体传感器的设计与性能分析 | 第36-58页 |
| ·新型三维敏感电阻式半导体气体传感器结构设计 | 第36-38页 |
| ·气敏元件的工作机理 | 第38-39页 |
| ·传统平面连续结构分析 | 第39-43页 |
| ·薄膜厚度对传统平面连续结构性能的影响 | 第40-43页 |
| ·离散半圆柱体结构分析 | 第43-49页 |
| ·性能分析比较 | 第45-49页 |
| ·梯形阵列结构分析 | 第49-56页 |
| ·性能分析比较 | 第50-51页 |
| ·梯形上底长度对梯形阵列结构响应时间的影响 | 第51-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63页 |