| 目录 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-11页 |
| ABSTRACT | 第11-16页 |
| 第一章 前言 | 第16-37页 |
| §1.1 电介质及介电材料 | 第16-18页 |
| §1.2 高介电栅极材料的研究背景及现状 | 第18-27页 |
| ·研究背景 | 第18-21页 |
| ·高介电(High-k)材料的要求标准 | 第21-24页 |
| ·High-k栅介质材料的研究现状及存在的问题 | 第24-27页 |
| §1.3 Bi-Ti-O系材料的研究背景及现状 | 第27-34页 |
| ·铁电材料及其发展 | 第27-28页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第28-30页 |
| ·Bi-Ti-O系统 | 第30-31页 |
| ·Bi_2Ti_2O_7材料的概述 | 第31-34页 |
| §1.4 本文的研究目的及内容 | 第34-36页 |
| §1.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第二章 薄膜微结构及电学性质的表征原理及方法 | 第37-56页 |
| §2.1 引言 | 第37页 |
| §2.2 测试技术 | 第37-54页 |
| ·X射线衍射分析 | 第37-38页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第38页 |
| ·扫描电镜分析 | 第38-39页 |
| ·热重与差热分析 | 第39页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第39-40页 |
| ·红外吸收光谱分析 | 第40-41页 |
| ·紫外可见光谱分析 | 第41页 |
| ·电容-电压特性分析 | 第41-47页 |
| ·电流-电压特性分析 | 第47-54页 |
| §2.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 掺镧Bi_2Ti_2O_7薄膜的制备 | 第56-64页 |
| §3.1 引言 | 第56页 |
| §3.2 薄膜的制备技术 | 第56-60页 |
| ·溅射法 | 第56-57页 |
| ·分子束外延生长法 | 第57页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第57-58页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第58页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第58页 |
| ·金属有机分解法 | 第58-59页 |
| ·化学溶液分解法 | 第59-60页 |
| §3.3 实验过程 | 第60-63页 |
| ·主要仪器设备 | 第60页 |
| ·实验原料 | 第60页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第60-61页 |
| ·衬底及其处理 | 第61页 |
| ·薄膜的制备 | 第61-62页 |
| ·电极的制备 | 第62-63页 |
| §3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 前驱体溶液浓度对掺镧Bi_2Ti_2O_7薄膜的影响 | 第64-73页 |
| §4.1 引言 | 第64页 |
| §4.2 实验过程 | 第64-65页 |
| §4.3 实验结果与讨论 | 第65-72页 |
| ·溶液浓度对薄膜晶化温度的影响 | 第65-68页 |
| ·溶液浓度对薄膜晶粒尺寸的影响 | 第68-70页 |
| ·溶液浓度对薄膜电学性质的影响 | 第70-72页 |
| §4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 La含量对掺镧Bi_2Ti_2O_7薄膜的影响 | 第73-81页 |
| §5.1 引言 | 第73页 |
| §5.2 实验过程 | 第73-75页 |
| §5.3 实验结果与讨论 | 第75-80页 |
| ·La含量对薄膜晶化温度的影响 | 第75-77页 |
| ·La含量对薄膜漏电流的影响 | 第77-78页 |
| ·La含量对薄膜介电常数的影响 | 第78-80页 |
| §5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 Bi_(0.8)La_(0.2)Ti_2O_7薄膜的制备及性能的研究 | 第81-105页 |
| §6.1 引言 | 第81页 |
| §6.2 实验过程 | 第81-82页 |
| §6.3 实验结果与讨论 | 第82-103页 |
| ·薄膜的X射线衍射分析 | 第82-84页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第84-86页 |
| ·前驱体溶液的热重、差热分析 | 第86-88页 |
| ·薄膜的XPS分析 | 第88-90页 |
| ·BLTO(0.2)材料的红外光谱分析 | 第90-93页 |
| ·薄膜的紫外与可见光谱分析 | 第93-94页 |
| ·BLTO(0.2)薄膜的绝缘性能研究 | 第94-99页 |
| ·BLTO(0.2)薄膜的介电性能研究 | 第99-103页 |
| §6.4 本章小结 | 第103-105页 |
| 第七章 掺钐Bi_2Ti_2O_7薄膜的制备及性能的初步研究 | 第105-115页 |
| §7.1 引言 | 第105页 |
| §7.2 实验过程 | 第105-106页 |
| §7.3 实验结果与讨论 | 第106-112页 |
| ·BSTO(0.2)薄膜的X射线衍射分析 | 第106-107页 |
| ·BSTO(0.2)薄膜的表面形貌分析 | 第107-108页 |
| ·BSTO(0.2)材料的紫外与可见光谱分析 | 第108-109页 |
| ·BSTO(0.2)薄膜的电学性能研究 | 第109-112页 |
| §7.4 BSTO与BLTO性能的比较 | 第112-113页 |
| §7.5 本章小结 | 第113-115页 |
| 第八章 本文研究成果及进一步有待解决的问题 | 第115-119页 |
| 参考文献 | 第119-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 攻读博士学位期间已发表和即将发表的论文 | 第142-144页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第144页 |
