MEMS断裂强度在线测试
| 摘 要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 引 言 | 第10-13页 |
| ·MEMS基本概念 | 第10页 |
| ·MEMS发展现状及前景预测 | 第10-11页 |
| ·MEMS发展面临的困难 | 第11-12页 |
| ·论文的主要工作 | 第12页 |
| ·论文纲要 | 第12-13页 |
| 第二章 MEMS薄膜断裂强度测试结构总结 | 第13-19页 |
| ·弹性力学基础 | 第13-14页 |
| ·常用MEMS薄膜断裂强度测试结构 | 第14-17页 |
| ·单端可移动桥式结构 | 第14-16页 |
| ·静电桥式测试结构 | 第16-17页 |
| ·热驱动测试结构 | 第17页 |
| ·小结 | 第17-19页 |
| 第三章 结构设计以及测试模型的建立 | 第19-32页 |
| ·静电桥式测试结构的改进 | 第19-22页 |
| ·压阻系数的测量 | 第19-21页 |
| ·断裂强度的测量 | 第21-22页 |
| ·梳状静电执行器驱动结构 | 第22-28页 |
| ·工作原理 | 第22页 |
| ·解析模型 | 第22-25页 |
| ·测试方法 | 第25页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第25-27页 |
| ·误差分析 | 第27-28页 |
| ·热驱动测试结构 | 第28-31页 |
| ·工作原理 | 第28-30页 |
| ·压阻模型 | 第30页 |
| ·测试 | 第30页 |
| ·误差分析 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第四章 工艺与版图设计 | 第32-47页 |
| ·制作工艺 | 第32页 |
| ·测试结构工艺流程 | 第32-37页 |
| ·静电桥式测试结构 | 第32-34页 |
| ·梳状静电执行器驱动式测试结构 | 第34-35页 |
| ·热执行器驱动式测试结构 | 第35-37页 |
| ·影响加工的关键工艺 | 第37页 |
| ·版图设计 | 第37-41页 |
| ·静电桥式测试结构版图设计 | 第37-39页 |
| ·梳状梳状静电执行器驱动式测试结构版图设计 | 第39-40页 |
| ·热执行器驱动式测试结构版图设计 | 第40-41页 |
| ·加工结果及讨论 | 第41-45页 |
| ·静电桥式测试结构 | 第41-42页 |
| ·梳状静电驱动式测试结构 | 第42-44页 |
| ·热驱动式测试结构 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第五章 测试软件的编制 | 第47-51页 |
| ·软件的功能与模块 | 第47-50页 |
| ·静电桥式测试结构 | 第47-48页 |
| ·梳状静电驱动式测试结构 | 第48-49页 |
| ·热驱动式测试结构 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结束语 | 第51-53页 |
| ·总结 | 第51页 |
| ·后续工作的建议 | 第51-53页 |
| 附录A MKS单位制与uMKSV单位的转换表 | 第53-54页 |
| 附录B北京大学设计规则 | 第54-58页 |
| B. 1版层描述 | 第54-55页 |
| 1 GPLT | 第54页 |
| 2 CNTC | 第54页 |
| 3 BUMP | 第54页 |
| 4 ANCH | 第54页 |
| 5 INTC | 第54-55页 |
| 6 BEAM | 第55页 |
| B. 2基本结构和设计规则 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致 谢 | 第61页 |
