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STM金属表面高分辨电化学刻蚀的研究

第一章 绪论第1-20页
   ·引言第7-9页
   ·STM高分辨表面加工技术第9-15页
     ·STM对表面的直接刻写第10-11页
     ·电子束光刻第11-13页
     ·电子束诱导淀积和刻蚀第13-14页
     ·单原子操作第14-15页
     ·STM纳米加工的应用第15页
   ·AFM微细加工技术第15-17页
     ·AFM针尖诱导局域氧化第15-16页
     ·AFM针尖诱导局域改性第16页
     ·纳米刻蚀加工第16-17页
     ·AFM操作单分子和原子第17页
     ·AFM电压脉冲法第17页
   ·STM/AFM加工的特点及局限性第17-18页
   ·利用STM开展高分辨电化学刻蚀研究的可行性第18-20页
第二章 电化学刻蚀加工系统的设计与制作第20-29页
   ·压电陶瓷三维扫描器第21-22页
   ·针尖与样品间隙反馈控制系统第22-26页
   ·专用样品台的设计第26-27页
   ·待进一步完善的工作第27-28页
   ·小结第28-29页
第三章 微电极的制备第29-42页
   ·STM针尖制备技术的回顾第29-33页
     ·钨针尖的制备技术第30-31页
     ·铂铱合金针尖的制备技术第31-32页
     ·制备针尖的其他方法第32-33页
   ·STM钨针尖的制备实验第33-38页
     ·电化学腐蚀过程第33-35页
     ·电化学腐蚀装置和腐蚀电路的设计第35-38页
   ·实验分析与本设计的优越性第38-39页
   ·针尖的绝缘封装第39-41页
   ·小结第41-42页
第四章 图像数据处理与格式转换第42-52页
   ·图像采集与处理第42-46页
     ·图像采集第42-44页
     ·图像处理方法第44-46页
   ·图像格式转换第46-51页
     ·IMG文件格式第47页
     ·BMP文件格式第47-50页
     ·IMG到BMP的转换第50-51页
   ·小结第51-52页
第五章 STM金属表面的高分辨电化学刻蚀实验研究第52-58页
   ·实验条件第52-53页
   ·样品的制备第53页
   ·STM高分辨率电化学刻蚀的基本原理第53-55页
     ·电化学刻蚀的原理第53-54页
     ·扫描高度的二次定位第54-55页
   ·实验结果与讨论第55-57页
   ·小结第57-58页
第六章 论文总结第58-59页
参考文献第59-63页
附录第63-75页
致谢第75-76页
攻硕期间本人取得的科研成果第76页

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