STM金属表面高分辨电化学刻蚀的研究
第一章 绪论 | 第1-20页 |
·引言 | 第7-9页 |
·STM高分辨表面加工技术 | 第9-15页 |
·STM对表面的直接刻写 | 第10-11页 |
·电子束光刻 | 第11-13页 |
·电子束诱导淀积和刻蚀 | 第13-14页 |
·单原子操作 | 第14-15页 |
·STM纳米加工的应用 | 第15页 |
·AFM微细加工技术 | 第15-17页 |
·AFM针尖诱导局域氧化 | 第15-16页 |
·AFM针尖诱导局域改性 | 第16页 |
·纳米刻蚀加工 | 第16-17页 |
·AFM操作单分子和原子 | 第17页 |
·AFM电压脉冲法 | 第17页 |
·STM/AFM加工的特点及局限性 | 第17-18页 |
·利用STM开展高分辨电化学刻蚀研究的可行性 | 第18-20页 |
第二章 电化学刻蚀加工系统的设计与制作 | 第20-29页 |
·压电陶瓷三维扫描器 | 第21-22页 |
·针尖与样品间隙反馈控制系统 | 第22-26页 |
·专用样品台的设计 | 第26-27页 |
·待进一步完善的工作 | 第27-28页 |
·小结 | 第28-29页 |
第三章 微电极的制备 | 第29-42页 |
·STM针尖制备技术的回顾 | 第29-33页 |
·钨针尖的制备技术 | 第30-31页 |
·铂铱合金针尖的制备技术 | 第31-32页 |
·制备针尖的其他方法 | 第32-33页 |
·STM钨针尖的制备实验 | 第33-38页 |
·电化学腐蚀过程 | 第33-35页 |
·电化学腐蚀装置和腐蚀电路的设计 | 第35-38页 |
·实验分析与本设计的优越性 | 第38-39页 |
·针尖的绝缘封装 | 第39-41页 |
·小结 | 第41-42页 |
第四章 图像数据处理与格式转换 | 第42-52页 |
·图像采集与处理 | 第42-46页 |
·图像采集 | 第42-44页 |
·图像处理方法 | 第44-46页 |
·图像格式转换 | 第46-51页 |
·IMG文件格式 | 第47页 |
·BMP文件格式 | 第47-50页 |
·IMG到BMP的转换 | 第50-51页 |
·小结 | 第51-52页 |
第五章 STM金属表面的高分辨电化学刻蚀实验研究 | 第52-58页 |
·实验条件 | 第52-53页 |
·样品的制备 | 第53页 |
·STM高分辨率电化学刻蚀的基本原理 | 第53-55页 |
·电化学刻蚀的原理 | 第53-54页 |
·扫描高度的二次定位 | 第54-55页 |
·实验结果与讨论 | 第55-57页 |
·小结 | 第57-58页 |
第六章 论文总结 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
附录 | 第63-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
攻硕期间本人取得的科研成果 | 第76页 |